[发明专利]变温可转位微纳米压痕测试装置

权利要求书

1.一种变温可转位微纳米压痕测试装置，其特征在于：包括工作台转位基座（1）、高低温工作腔（2）和压头驱动/进给机构（3）三个部分，高低温工作腔（2）安装在工作台转位基座（1）的L型安装板（112）上，压头驱动/进给机构（3）安装在工作台转位基座（1）的设备基座（102）上；工作台转位基座（1）实现工作台转位动作和做整机支撑，高低温工作腔（2）给试件测量过程提供连续变温的环境氛围，并且能隔绝外界干扰，压头驱动/进给机构（3）实现压头在竖直方向上的进给动作，并通过压力传感器（319）和位移传感器（317）获得测量数据。

2.根据权利要求1所述的变温可转位微纳米压痕测试装置，其特征在于：所述的工作台转位基座（1）是：T型支座（101）、下轴承座A（103）和T型安装板（114）分别安装在设备基座（102）上，双联角接触球轴承A（104）安装在下轴承座A（103）的内孔中，双联角接触球轴承A（104）轴向和径向支撑转轴（106）的下轴颈；从动同步带轮（105）安装在转轴（106）上，转轴（106）安装在双联角接触球轴承A（104）和深沟球轴承A（108）的内孔中，上轴承座A（107）安装在L型安装板（112）上，深沟球轴承A（108）安装在上轴承座A（107）的内孔中；绝缘垫块（109）、隔热平台（111）和工作台（110）依次安装在转轴（106）上端，L型安装板（112）安装在T型安装板（114）上，电机安装座（117）安装在T型支座（101）上，伺服电机A（115）安装在电机安装座（117）上，主动同步带轮（116）安装在伺服电机A（115）的输出轴上，同步带（113）安装在主动同步带轮（116）和从动同步带轮（105）上，伺服电机A（115）通过同步带（113）传动把动力传递给转轴（106）。

3.根据权利要求2所述的变温可转位微纳米压痕测试装置，其特征在于：所述的伺服电机A（115）为交流伺服电机，实现直线进给运动。

4.根据权利要求2所述的变温可转位微纳米压痕测试装置，其特征在于：所述的隔热平台（111）为带T型槽的平台。

5.根据权利要求1所述的变温可转位微纳米压痕测试装置，其特征在于：所述的高低温工作腔（2）是：进气接头（201）、出气接头（203）和真空压力表（202）分别安装在工作腔（207）的一侧，制冷探头（206）安装在工作腔（207）的另一侧，其中进气接头（201）和出气接头（203）分别对工作腔（207）内部通气和排气，控制工作腔（207）内的压力，同时真空压力表（202）实时显示工作腔（207）的内部压力；制冷探头（206）后端连接液氮循环器，通过液氮和氮气的循环加载温度，实现工作腔（207）内部的降温；透明视窗（208）安装在工作腔（207）的正面，并通过视窗压紧板（209）压紧固定；两台卤素灯（204）对称安装在工作腔（207）的内部，通过调节卤素灯（204）、制冷探头（206）的功率实现试件的高低温连续加载；密封盖（205）安装在工作腔（207）的顶端。