[发明专利]一种基于MEMS超声换能器阵列的水下镜头在线实时超声清洗装置

权利要求书

1.一种基于MEMS超声换能器阵列的水下镜头在线实时超声清洗装置，其特征在于，包括环形基座(1)、MEMS超声换能器阵列模块(2)、盖板(3)、环形密封盖(4)以及控制驱动电路模块(5)，环形基座(1)用于将清洗装置固定在水下监视设备镜头上；环形基座(1)周向开设有若干个通孔，通孔中安装有MEMS超声换能器阵列模块(2)，MEMS超声换能器阵列模块(2)中集成有呈阵列形式排布的MEMS超声换能器，MEMS超声换能器的声辐射方向朝向待清洗镜头；所述的通孔位于环形基座(1)外表面一侧通过盖板(3)进行固定密封；环形基座(1)周向的通孔外部环绕固定有环形密封盖(4)，用于对通孔进行二次防水密封；MEMS超声换能器阵列模块(2)与控制驱动电路模块(5)相连，MEMS超声换能器阵列模块(2)集成于环形基座上。

2.如权利要求1所述的基于MEMS超声换能器阵列的水下镜头在线实时超声清洗装置，其特征在于，所述的MEMS超声换能器为MEMS压电式超声换能器或MEMS电容式超声换能器。

3.如权利要求1所述的基于MEMS超声换能器阵列的水下镜头在线实时超声清洗装置，其特征在于，所述的超声清洗装置与水下监视设备连接共同电源。

4.如权利要求1所述的基于MEMS超声换能器阵列的水下镜头在线实时超声清洗装置，其特征在于，所述通孔与所述的MEMS超声换能器阵列模块(2)朝向环形基座(1)内表面一侧之间通过防水胶进行密封固定。

5.如权利要求1所述的基于MEMS超声换能器阵列的水下镜头在线实时超声清洗装置，其特征在于，盖板(3)与环形基座(1)上均开设有信号线通孔，MEMS超声换能器阵列模块(2)的信号线穿过信号线通孔后与控制驱动电路模块(5)连接。

6.如权利要求1所述的基于MEMS超声换能器阵列的水下镜头在线实时超声清洗装置，其特征在于，所述的通孔位于环形基座(1)外表面一侧呈矩形，位于环形基座(1)内表面一侧呈圆形。

7.如权利要求1所述的基于MEMS超声换能器阵列的水下镜头在线实时超声清洗装置，其特征在于，所述的盖板(3)底部镂空，MEMS超声换能器阵列模块(2)安装于该镂空部位中，两者以间隙配合或者过渡配合。

8.如权利要求1所述的基于MEMS超声换能器阵列的水下镜头在线实时超声清洗装置，其特征在于，所述的MEMS超声换能器的阵列形式为圆形阵列、环形阵列、矩形阵列或其他规则阵列中的至少一种。