[发明专利]一种MEMS陀螺仪电路板检测方法及装置有效

专利信息
申请号: 201710993996.4 申请日: 2017-10-23
公开(公告)号: CN107817432B 公开(公告)日: 2019-12-20
发明(设计)人: 武东;汤一;齐芳艺;要彦清;刘松;蔡童童 申请(专利权)人: 北京晨晶电子有限公司
主分类号: G01R31/28 分类号: G01R31/28
代理公司: 11002 北京路浩知识产权代理有限公司 代理人: 王莹;李相雨
地址: 101204 北*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 mems 陀螺仪 电路板 检测 方法 装置
【权利要求书】:

1.一种MEMS陀螺仪电路板检测的方法,所述方法包括:

向待测MEMS陀螺仪电路板的驱动电路发送驱动检测信号,所述驱动检测信号用于接入所述待测MEMS陀螺仪电路板的驱动电路;

获取所述驱动电路的驱动反馈信号;

根据所述驱动反馈信号确定所述待测MEMS陀螺仪电路板的功能状态;

所述驱动检测信号包括第一子驱动检测信号和第二子驱动检测信号,其中所述第一子驱动检测信号的幅值大于所述第二子驱动检测信号的幅值;

所述驱动反馈信号包括第一子驱动反馈信号和第二子驱动反馈信号;

相应地,所述通过所述检测电路板向所述待测MEMS陀螺仪电路板的驱动电路发送驱动端检测信号,具体包括:

分时向所述待测MEMS陀螺仪电路板的驱动电路发送第一子驱动检测信号和第二子驱动检测信号;

相应地,所述获取所述驱动电路的反馈端的驱动反馈信号,具体包括:

向所述待测MEMS陀螺仪电路板的驱动电路发送第一子驱动检测信号时,获取所述驱动电路的第一子驱动反馈信号;

向所述待测MEMS陀螺仪电路板的驱动电路发送第二子驱动检测信号时,获取所述驱动电路的第二子驱动反馈信号。

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,还包括:

向所述待测MEMS陀螺仪电路板的检测解调电路发送敏感检测信号,所述敏感检测信号用于接入所述待测MEMS陀螺仪电路板的检测解调电路;

获取所述检测解调电路的敏感反馈信号;

相应地,所述根据所述驱动反馈信号确定所述待测MEMS陀螺仪电路板的功能状态,具体包括:

根据所述驱动反馈信号及所述敏感反馈信号确定所述待测MEMS陀螺仪电路板的功能状态。

3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,还包括:

获取所述待测MEMS陀螺仪电路板的温度检测电路的温度信号;

相应地,所述根据所述驱动反馈信号确定所述待测MEMS陀螺仪电路板的工作状态,具体包括:

根据所述驱动反馈信号及所述温度信号确定所述待测MEMS陀螺仪电路板的功能状态。

4.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述敏感检测信号包括第一子敏感检测信号、第二子敏感检测信号及第三子敏感检测信号,其中所述第二子敏感检测信号与所述第三子敏感检测信号为具有相同预设幅值,相位差为180°的信号;

所述敏感反馈信号包括第一子敏感反馈信号、第二子敏感反馈信号和第三子敏感反馈信号;

相应地,所述向所述待测MEMS陀螺仪电路板的检测解调电路发送敏感检测信号,具体包括:

分时向所述检测解调电路发送第一子敏感检测信号、第二子敏感检测信号和第三子敏感检测信号;

相应地,所述获取所述检测解调电路的敏感反馈信号,具体包括:

向所述检测解调电路发送第一子敏感检测信号时,采集所述检测解调电路的第一子敏感反馈信号;

向所述检测解调电路发送第二子敏感检测信号时,采集所述检测解调电路的第二子敏感反馈信号;

向所述检测解调电路发送第三子敏感检测信号时,采集所述检测解调电路的第三子敏感反馈信号。

5.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述敏感检测信号的幅值与待测MEMS陀螺仪电路板的量程成正比。

6.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,还包括:

根据所述第二子敏感反馈信号及所述第三子敏感反馈信号,确定所述检测解调电路的电路放大倍数。

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