[发明专利]挂片送料装置以及光学镀膜设备

权利要求书

1.一种挂片送料装置，用于将基片送入镀膜机，所述镀膜机具有送片口以及中间转盘，其特征在于，所述挂片送料装置包括供所述基片粘附的基片架、位于所述镀膜机左侧并与所述送片口连通的递送室、与所述递送室连通并位于所述递送室下方的中间室以及用于将所述基片架从所述中间室提起至所述递送室并从所述送片口递送至所述中间转盘以使所述基片架挂持于所述中间转盘的垂直递送机构，所述基片架包括基架座以及连接于所述基架座右侧的倒勾，所述垂直递送机构包括中间连接组件、与所述中间连接组件连接并用于拿取所述基片架的挂架、用于驱动所述中间连接组件上下运动的垂直驱动组件以及驱动所述中间连接组件左右运动的水平驱动组件。

2.如权利要求1所述的挂片送料装置，其特征在于，所述中间连接组件包括自锁机构、由所述垂直驱动组件驱动上下运动的支撑座以及与所述支撑座在左右方向滑动配合且与所述挂架连接并由所述水平驱动组件驱动左右运动的主架座，所述水平驱动组件随所述主架座一并上下运动，所述自锁机构包括第一卡止件、与所述主架座连接的第二卡止件以及在其弹性恢复力的作用下驱动所述第一卡止件向所述第二卡止件运动以使所述第一卡止件和所述第二卡止件卡接配合从而限制所述支撑座和所述主架座左右滑动的第一弹性件，所述第一弹性件在所述挂架与所述送片口处于同一水平位置时受到用于克服其弹性恢复力的外力。

3.如权利要求2所述的挂片送料装置，其特征在于，所述支撑座开设上下方向贯通的导孔，所述第一卡止件设有朝上的卡齿，所述第二卡止件设有与所述卡齿卡接配合的卡槽；

所述自锁机构包括穿过所述导孔并与所述导孔滑接配合的导杆以及连接于所述导杆上杆端的限位件，所述第一弹性件一端与所述限位件弹性抵触，另一端与所述支撑座弹性抵触，所述限位件在所述挂架与所述送片口处于同一水平位置时抵触所述递送室上顶面。

4.如权利要求2所述的挂片送料装置，其特征在于，所述挂架包括挂架本体以及与所述挂架本体连接并朝右延伸形成的挂持杆，所述基片架开设有左右方向贯通设置并供所述挂持杆置入的挂孔。

5.如权利要求4所述的挂片送料装置，其特征在于，所述挂架包括连接与所述挂持杆自由端并向上延伸形成且用于限制所述基片架脱离所述挂持杆的限位勾。

6.如权利要求4所述的挂片送料装置，其特征在于，所述中间连接组件包括与所述挂架连接并与所述主架座在左右方向滑动连接的连接座、一端与所述主架座连接而另一端与所述连接座并在其弹性恢复力的作用下驱动所述挂架具有向右运动的趋势的第二弹性件以及用于驱动所述连接座向左运动的挂架辅助机构。

7.如权利要求6所述的挂片送料装置，其特征在于，所述挂架辅助机构包括与所述连接座连接的辅助连接件以及用于驱动所述辅助连接件左右运动的辅助驱动器。

8.如权利要求1至7中任一项所述的挂片送料装置，其特征在于，所述挂片送料装置包括置于所述中间室前侧的进片室、位于所述中间室后侧的出片室、用于将所述基片架从所述进片室运载至所述中间室并从所述中间室运载至所述出片室的运载小车，所述运载小车至少设有一个。

9.如权利要求8所述的挂片送料装置，其特征在于，所述挂片送料装置包括用于隔断所述进片室和所述中间室的第一隔断件、用于将所述进片室抽真空的第一真空泵、用于隔断所述出片室和所述中间室的第二隔断件以及用于将所述出片室抽真空的第二真空泵。

10.一种光学镀膜设备，其特征在于，包括如权利要求1至9中任一项所述的挂片送料装置。