[发明专利]具有集成的温度测量的振动传感器有效

专利信息
申请号: 201710998463.5 申请日: 2017-10-20
公开(公告)号: CN107990973B 公开(公告)日: 2022-01-21
发明(设计)人: 多米尼克·费伦巴赫;福尔克·奥尔盖耶 申请(专利权)人: VEGA格里沙贝两合公司
主分类号: G01H11/08 分类号: G01H11/08;G01K7/34
代理公司: 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 代理人: 曹正建;陈桂香
地址: 德国沃*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 具有 集成 温度 测量 振动 传感器
【权利要求书】:

1.一种具有集成的温度测量的振动传感器(1),其具有:

能够振动的薄膜(5);

压电驱动器(3),所述压电驱动器用于使所述薄膜(5)振动并用于测量所述薄膜(5)的振动,其中,所述压电驱动器具有机械地串联连接的至少两个压电元件(71、72),

其特征在于,至少一个第一压电元件(71)由第一压电材料形成,且至少一个第二压电元件(72)由第二压电材料形成,并且通过检测至少一个压电元件的电容来确定温度,

所述第一压电材料的第一相对介电常数(εr1)和所述第二压电材料的第二相对介电常数(εr2)具有不同的温度依赖性。

2.根据权利要求1所述的振动传感器(1),其特征在于,所述第一压电材料的在材料极化方向上的第一耦合因数(k1)和所述第二压电材料的在材料极化方向上的第二耦合因数(k2)具有不同的温度依赖性。

3.根据权利要求2所述的振动传感器(1),其特征在于,所述第一耦合因数(k1)在-50℃至+200℃的温度范围内具有近似线性的变化。

4.根据权利要求3所述的振动传感器(1),其特征在于,所述第一耦合因数(k1)在所述温度范围内的相对变化小于+/-15%。

5.根据权利要求3所述的振动传感器(1),其特征在于,所述第一耦合因数(k1)在所述温度范围内的相对变化小于+/-10%。

6.根据权利要求3所述的振动传感器(1),其特征在于,所述第一耦合因数(k1)在所述温度范围内的相对变化等于或小于+/-5%。

7.根据权利要求3所述的振动传感器(1),其特征在于,所述第一耦合因数(k1)在所述温度范围内的值在10和20之间的范围内。

8.根据权利要求3所述的振动传感器(1),其特征在于,所述第一耦合因数(k1)在所述温度范围内的值在15和20之间的范围内。

9.根据权利要求3所述的振动传感器(1),其特征在于,所述第二相对介电常数(εr2)在所述温度范围内的相对变化大于+/-10%。

10.根据权利要求3所述的振动传感器(1),其特征在于,所述第二相对介电常数(εr2)在所述温度范围内的相对变化大于+/-15%。

11.根据权利要求3所述的振动传感器(1),其特征在于,所述第二相对介电常数(εr2)在所述温度范围内的相对变化为至少-10%至+30%。

12.根据权利要求3所述的振动传感器(1),其特征在于,所述第二相对介电常数(εr2)在所述温度范围内的相对变化为至少+50%。

13.根据权利要求3所述的振动传感器(1),其特征在于,所述第二相对介电常数在所述温度范围内的变化为至少30%。

14.根据权利要求3所述的振动传感器(1),其特征在于,所述第二相对介电常数在所述温度范围内的变化为至少50%。

15.根据权利要求3所述的振动传感器(1),其特征在于,所述第二相对介电常数在所述温度范围内的变化为至少80%。

16.根据权利要求1或2所述的振动传感器(1),其特征在于,所述驱动器(3)具有至少两个由所述第一压电材料形成的压电元件(71、72)。

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