[发明专利]具有集成的温度测量的振动传感器有效
| 申请号： | 201710998463.5 | 申请日： | 2017-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN107990973B | 公开（公告）日： | 2022-01-21 |
| 发明（设计）人： | 多米尼克·费伦巴赫;福尔克·奥尔盖耶 | 申请（专利权）人： | VEGA格里沙贝两合公司 |
| 主分类号： | G01H11/08 | 分类号： | G01H11/08;G01K7/34 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 曹正建;陈桂香 |
| 地址： | 德国沃*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 集成 温度 测量 振动 传感器 | ||
1.一种具有集成的温度测量的振动传感器(1)，其具有：
能够振动的薄膜(5)；
压电驱动器(3)，所述压电驱动器用于使所述薄膜(5)振动并用于测量所述薄膜(5)的振动，其中，所述压电驱动器具有机械地串联连接的至少两个压电元件(71、72)，
其特征在于，至少一个第一压电元件(71)由第一压电材料形成，且至少一个第二压电元件(72)由第二压电材料形成，并且通过检测至少一个压电元件的电容来确定温度，
所述第一压电材料的第一相对介电常数(εr1)和所述第二压电材料的第二相对介电常数(εr2)具有不同的温度依赖性。
2.根据权利要求1所述的振动传感器(1)，其特征在于，所述第一压电材料的在材料极化方向上的第一耦合因数(k1)和所述第二压电材料的在材料极化方向上的第二耦合因数(k2)具有不同的温度依赖性。
3.根据权利要求2所述的振动传感器(1)，其特征在于，所述第一耦合因数(k1)在-50℃至+200℃的温度范围内具有近似线性的变化。
4.根据权利要求3所述的振动传感器(1)，其特征在于，所述第一耦合因数(k1)在所述温度范围内的相对变化小于+/-15％。
5.根据权利要求3所述的振动传感器(1)，其特征在于，所述第一耦合因数(k1)在所述温度范围内的相对变化小于+/-10％。
6.根据权利要求3所述的振动传感器(1)，其特征在于，所述第一耦合因数(k1)在所述温度范围内的相对变化等于或小于+/-5％。
7.根据权利要求3所述的振动传感器(1)，其特征在于，所述第一耦合因数(k1)在所述温度范围内的值在10和20之间的范围内。
8.根据权利要求3所述的振动传感器(1)，其特征在于，所述第一耦合因数(k1)在所述温度范围内的值在15和20之间的范围内。
9.根据权利要求3所述的振动传感器(1)，其特征在于，所述第二相对介电常数(εr2)在所述温度范围内的相对变化大于+/-10％。
10.根据权利要求3所述的振动传感器(1)，其特征在于，所述第二相对介电常数(εr2)在所述温度范围内的相对变化大于+/-15％。
11.根据权利要求3所述的振动传感器(1)，其特征在于，所述第二相对介电常数(εr2)在所述温度范围内的相对变化为至少-10％至+30％。
12.根据权利要求3所述的振动传感器(1)，其特征在于，所述第二相对介电常数(εr2)在所述温度范围内的相对变化为至少+50％。
13.根据权利要求3所述的振动传感器(1)，其特征在于，所述第二相对介电常数在所述温度范围内的变化为至少30％。
14.根据权利要求3所述的振动传感器(1)，其特征在于，所述第二相对介电常数在所述温度范围内的变化为至少50％。
15.根据权利要求3所述的振动传感器(1)，其特征在于，所述第二相对介电常数在所述温度范围内的变化为至少80％。
16.根据权利要求1或2所述的振动传感器(1)，其特征在于，所述驱动器(3)具有至少两个由所述第一压电材料形成的压电元件(71、72)。
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