[发明专利]一种半导体器件老练实验装置及方法

说明书

本发明具体涉及一种半导体器件老练实验装置及方法，属于半导体器件加工技术领域。目的是提供一种半导体器件老练装置及方法，能够从根本上解决半导体器件老练不能实现标准要求问题。装置包括老化电源系统、半导体器件、油槽、夹具、冷却系统，所述半导体器件通过夹具夹持且置于油槽中，半导体器件与老化电源系统电连接，冷却系统用于控制油温和半导体器件结温。方法为将半导体器件采用浸渍方法至于油槽中，通过冷却系统精确控制油温和器件结温，实现半导体器件老练功能。本发明设计老练试验台一次可以老练多只器件（100只‑200只），极大提高老练工作效率。

技术领域

本发明具体涉及一种半导体器件老练实验装置及方法，属于半导体器件加工技术领域。

背景技术

现有的半导体器件老练实验台，都采用风冷和水冷的方式控制器件的结温。通过老练夹具把器件与散热片连接起来，器件管壳与散热片之间通过紧密接触减少热阻。器件芯片产生热量通过管壳直接传输到散热片上，散热片通过风冷或水冷把热量传输到环境空气中，从而达到热量传输的目的。管壳与散热片之间采用压接方式匹配，由于两个端面的平整度不一，很难保证接触界面的完全吻合，施加导热硅脂又影响电流传输。

由于管壳与散热片的热量传输问题，大功率热量传输不能有效实现，造成老练工位之间的偏差较大，不能实现每一个老练器件平衡。现有老练台不适用多工位的大功率器件的老练，现有的20A以上的老练试验台基本工位少于10个。严重影响老练进度，只是实验室使用。

现实工作中。生产厂不得已采用其他代用方法。不能完全按照国军标和国标的质量要求，打折完成半导体器件的筛选实验和质量一致性检验。

发明内容

本发明主要解决的技术问题是提供一种半导体器件老练装置及方法，能够从根本上解决半导体器件老练不能实现标准要求问题，可以有效的提高半导体器件的可靠性指标。

具体的，半导体器件老练实验装置，包括老化电源系统、半导体器件，所述半导体器件老练实验装置还包括油槽、夹具、冷却系统，所述半导体器件通过夹具夹持且置于油槽中，半导体器件与老化电源系统电连接，冷却系统用于控制油温和半导体器件结温。

进一步的，所述半导体器件之间并联或串联。

进一步的，所述冷却系统包括控制系统、热交换池、循环泵，热交换池连通油槽，循环泵设置在热交换池内且连接控制系统。

本发明还提供了利用上述装置实现的半导体器件老练实验方法，所述方法为：

将半导体器件采用浸渍方法至于油槽中，通过冷却系统精确控制油温和器件结温，实现半导体器件老练功能。

本发明的有益效果在于：本发明提出的实验方法和实验台设计，适用于现有老练试验台更新改造和新采购。是现有老练实验设备颠覆性设计改变，能够准确实现标准的要求。能够更加充分、完整的对器件进行筛选和考核。市场潜力巨大，经济效益前景非常广阔。

附图说明

图1是本发明一种半导体器件老化试验装置的立体结构示意图；

图2是一种半导体器件老化试验装置的TO系列产品夹具连接示意图；

图3是一种半导体器件老化试验装置的SMD系列产品夹具连接图。

附图标记如下：

1、老化电源系统，2、半导体器件，3、油槽，4、夹具，5、热交换池，6、控制系统。

具体实施方式

下面结合附图对本发明的具体实施方式进行说明：