[发明专利]一种检测海水盐度与温度集成传感器芯片及其制造方法

权利要求书

1.一种检测海水盐度与温度集成传感器芯片，包括：盐度检测电极(1)、温度检测电极(5)，其特征在于，还包括玄武岩玻璃基片(4)，所述玄武岩玻璃基片(4)包括两个表面，其第一个表面上设置有六个盐度检测电极(1)，六个盐度检测电极(1)平行且间隔设置，第一和第二个盐度检测电极(1)的左侧分别连接有一个盐度电极焊盘(2)，第三和第四个盐度检测电极(1)的右侧分别连接有一个盐度电极焊盘(2)，第五和第六个盐度检测电极(1)的左侧分别连接有一个盐度电极焊盘(2)，所述玄武岩玻璃基片(4)的第一个表面上还设置有第一厚膜包封层(3)，所述第一厚膜包封层(3)覆盖整个玄武岩玻璃基片(4)的第一个表面，并且在盐度检测电极(1)的位置留有盐度电极开口；所述玄武岩玻璃基片(4)的第二个表面上设置有三个温度检测电极(5)，所述三个温度检测电极(5)呈三角形首尾不相连布置，所述温度检测电极(5)两端各自连接有一个温度电极焊盘(6)，所述玄武岩玻璃基片(4)的第二个表面上还设置有第二厚膜包封层(7)，第二厚膜包封层覆盖整个玄武岩玻璃基片(4)的第二个表面，所述的盐度电极焊盘(2)和温度电极焊盘(6)均通过导线引出，玄武岩玻璃基片采用1-5mm厚的抗海水腐蚀的玄武岩玻璃基片。

2.一种基于权利要求1所述的一种检测海水盐度与温度集成传感器芯片的工作方法，其特征在于，六个所述的盐度检测电极(1)具有：2盐度检测电极工作模式、3盐度检测电极工作模式、4盐度检测电极工作模式、5盐度检测电极工作模式和6盐度检测电极工作模式，三个温度检测电极(5)具有：1温度检测电极工作模式、2温度检测电极工作模式和3温度检测电极工作模式；

所述2盐度检测电极工作模式为：向第一盐度检测电极通一交流电，并检测第一盐度检测电极和第二盐度检测电极间电压变化进而得出溶液的阻抗，延时后，向第六盐度检测电极通一交流电，并检测第五盐度检测电极和第六盐度检测电极间电压变化进而得出溶液的阻抗，延时后，向第一盐度检测电极通一交流电，如此循环；

所述3盐度检测电极工作模式为：向第二盐度检测电极通一交流电，检测第一盐度检测电极和第三盐度检测电极间电压变化进而得出溶液的阻抗，延时后，向第三盐度检测电极通一交流电，检测第二盐度检测电极和第四盐度检测电极间电压变化进而得出溶液的阻抗，延时后，向第四盐度检测电极通一交流电，检测第三盐度检测电极和第五盐度检测电极间电压变化进而得出溶液的阻抗，延时后，向第五盐度检测电极通一交流电，检测第四盐度检测电极和第六盐度检测电极间电压变化进而得出溶液的阻抗，延时后，向第二盐度检测电极通一交流电，如此循环；

所述4盐度检测电极工作模式为：向第一盐度检测电极和第四盐度检测电极通一交流电，检测第二盐度检测电极和第三盐度检测电极间电压变化进而得出溶液的阻抗，换算出所测溶液的盐度，延时后，向第二盐度检测极和第五盐度检测电极通一交流电，检测第三盐度检测电极和第四盐度检测电极间电压变化，延时后，向第三盐度检测极和第六盐度检测电极通一交流电，检测第四盐度检测电极和第五盐度检测电极间电压变化，延时后，向第一盐度检测电极和第四盐度检测电极通一交流电，如此循环；

所述5盐度检测电极工作模式为：向第一盐度检测电极和第五盐度检测电极通一交流电，检测第二盐度检测电极和第三盐度检测电极间电压变化，第三盐度检测电极和第四盐度检测电极间电压变化，将两个电压变化值取平均值，换算出所测盐度，延时后，向第二盐度检测电极和第六盐度检测电极通一交流电，检测第三盐度检测电极和第四盐度检测电极间电压变化，第四盐度检测电极和第五盐度检测电极间电压变化，将两个电压变化值取平均值，换算出所测盐度，延时后，向第一盐度检测电极和第五盐度检测电极通一交流电，如此循环；

所述6盐度检测电极工作模式为：向第一盐度检测电极和第六盐度检测电极通一交流电，检测第二盐度检测电极和第三盐度检测电极得出海水阻抗、检测第三盐度检测电极和第四盐度检测电极得出海水阻抗、检测第四盐度检测电极和第五盐度检测电极得出海水阻抗，将三个海水阻抗值取平均值，换算出盐度值；

所述1温度检测电极工作模式为：第一温度检测电极工作，第二和第三温度检测电极热储备，延时后，第二温度检测电极工作，第一和第三温度检测电极热储备，延时后，第三温度检测电极工作，第一和第二温度检测电极热储备，延时后，第一温度检测电极工作，第二和第三温度检测电极热储备，如此循环；

所述2温度检测电极工作模式为：第一和第二温度检测电极工作，第三温度检测电极热储备，取第一和第二温度检测电极工作结果的平均值，延时后，第二和第三温度检测电极工作，第一温度检测电极热储备，取第二和第三温度检测电极工作结果的平均值，延时后，第三和第一温度检测电极工作，第二温度检测电极热储备，取第三和第一温度检测电极工作结果的平均值，延时后，第一和第二温度检测电极工作，第三温度检测电极热储备，取第一和第二温度检测电极工作结果的平均值，如此循环；

所述3温度检测电极工作模式为：3个温度检测电极同时工作，随机选取临近的2个温度检测电极，取平均值。