[发明专利]一种钛靶材的制造方法在审
| 申请号： | 201711001986.4 | 申请日： | 2017-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN107523795A | 公开（公告）日： | 2017-12-29 |
| 发明（设计）人： | 沈小利;牛会梅 | 申请（专利权）人： | 宝鸡市铭坤有色金属有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22F1/18 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所61214 | 代理人： | 罗磊 |
| 地址： | 721013 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 钛靶材 制造 方法 | ||
1.一种钛靶材的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤1：选取钛原料，采用大气熔炼或真空熔炼的方法将钛原料熔融，并将熔汤浇铸，浇铸后的熔汤冷却形成铸锭坯料；
步骤2：将步骤1浇铸所形成的铸锭坯料立即进行第一热处理，第一热处理的温度为450～650℃，保温时间0.5～2.5h，然后将保温热处理后的铸锭坯料进行热轧延或者空气锤锻打，形成第一钛坯；
步骤3：对步骤2中形成的第一钛坯进行第二热处理，第二热处理的温度为350～550℃，保温时间为1～3h，然后将保温热处理后的第一钛坯进行热轧延或者空气锤锻打，形成第二钛坯；
步骤4：对步骤3得到的第二钛坯冷却到室温后，在室温的环境下对第二钛坯进行冷轧延，形成冷轧坯；
步骤5：将步骤4冷轧所形成的冷轧坯做退火热处理，退火热处理温度为300～700℃，时间为1～5h，得到晶粒细小且均匀的钛靶坯，之后通过机床加工即得钛靶材。
2.如权利要求1所述的一种钛靶材的制造方法，其特征在于，所述步骤1中选取的钛原料的纯度为4N5或者5N。
3.如权利要求1所述的一种钛靶材的制造方法，其特征在于，所述步骤1中选取的钛原料为钛粉、钛粒或钛锭中的一种。
4.如权利要求1所述的一种钛靶材的制造方法，其特征在于，所述步骤1中采用大气熔炼或真空熔炼的熔融温度为600～800℃。
5.如权利要求1所述的一种钛靶材的制造方法，其特征在于，所述步骤5中退火热处理的温度为400～600℃。
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