[发明专利]一种用于圆柱晶片的双面研磨机

说明书

技术领域

本发明涉及晶片研磨领域，具体涉及一种用于圆柱晶片的双面研磨机。

背景技术

在光学晶片的生产过程中，研磨工艺是十分重要的一个环节。其中，双面研磨机主要用于对两面平行的晶体零件进行双面研磨，其中采用游星轮对晶体进行夹持。传统的游星轮开孔位置固定，使得同一片游星轮只能针对同一种形状的晶体进行夹持，导致了游星轮的利用率低，增加了的生产成本。例如，授权公告号为CN202804917U公开的一种研磨石英晶片用游星轮，其就只能对一种固定尺寸的晶片进行加工，若需要加工其他尺寸的晶片，则必须更换游星轮，不利于生产。

发明内容

本发明的目的，是为了解决背景技术中的问题，提供一种用于圆柱晶片的双面研磨机。

本发明的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种用于圆柱晶片的双面研磨机，包括：底座台、上压台和游星轮，所述底座台顶部设置有研磨腔，所述研磨腔外圈设置有内齿齿轮，所述研磨腔底部设置有底部研磨片，所述研磨腔中心设置有驱动齿轮，所述上压台包括，中心驱动盘、驱动电机和上研磨片，所述驱动电机与所述中心驱动盘相连，所述中心驱动盘与所述驱动齿轮相装配，平面方向上所述游星轮设置在所述驱动齿轮与所述内齿齿轮之间，高度方向上所述游星轮设置在所述上研磨片与所述底部研磨片之间；所述游星轮包括，同心设置的基体齿盘和定位盘，所述基体齿盘外圈设置有齿，所述基体齿盘内部圆周均布有若干调径孔，所述定位盘包括活动轮和卡位环；所述调径孔包括，调径环和调径杆，所述调径环套设与所述调径孔内，所述调径环通过连杆与所述活动轮相连，所述调径杆包括，铰接固定端和滑动槽，其中铰接固定端铰接固定在所述基体齿盘上，所述调径环包括顶环和底环，所述顶环和底环之间通过立柱相连，所述立柱贯穿所述滑动槽，并且所述调径杆通过所述滑动槽在所述立柱的限位作用下滑动。

待加工工件在上下设置的上研磨片和底部研磨片之间相对运动，从而起到打磨的效果。上述方案主要针对圆柱形的待打磨物件，使用时，将待研磨物件放置在调径孔内，通过调径环和调径杆将物件夹紧，由于调径环和调径杆具有可调节内径的功能，故本游星轮可以用于加工各种直径不同的圆柱体待打磨物件。

作为优选，所述卡位环与所述基体齿盘固定连接，其内圈设置有内棘齿；所述活动轮套设在所述卡位环内，其内部或表面设置有，棘爪和弹片，所述内棘齿包括，阻挡面和圆弧滑动面，所述棘爪包括，顶止面和转动部。通过上述结构实现卡位环的单向旋转收紧功能。

作为优选，所述基体齿盘包括正反两面；所述顶环和连杆设置在所述基体齿盘的正面；所述底环、调径杆和卡位环设置在所述基体齿盘的反面，所述活动轮贯穿所述基体齿盘，上述设置能够有效降低整个游星轮的整体厚度，提高了游星轮的泛用性。

作为优选，所述调径孔外均布设置有用于固定所述铰接固定端的铰孔。

作为优选，所述连杆两端分别铰接在所述调径环的顶环上的第一连接孔处以及所述活动轮上的第二连接孔处。

作为优选，所述调径孔内圈设置有凹槽，所述顶环外圈设置有与所述凹槽相匹配的凸环，使得顶环扣于所述调径孔内。

作为优选，所述活动轮的旋紧旋向与所述驱动齿轮的驱动旋向相同，这样的设置，可以保证在工作工程中，对加工物件的夹持不会变松，会随着旋转作用越旋越紧。

作为优选，所述调径杆远离所述铰接固定端的一端设置有活动卡头，所述活动卡头与所述调径杆铰接相连。

作为优选，所述活动卡头为C形，提高夹紧定位效果。

作为优选，所述上压台上设置有穿透所述上研磨片设置的冷却液管。

作为优选，所述驱动齿轮顶部设置有驱动插槽，所述中心驱动盘底部设置有驱动插条，所述驱动插条与所述驱动插槽相互匹配。

综上所述，本发明通过采用收拢调径杆的方式对圆柱形加工件进行定位，从而使得同一个游星轮可以用于不同直径的待加工物件进行夹持加工，提高了游星轮的通用性，从而便于工厂的生产加工。

附图说明

图1是本发明的结构示意图；

图2是本发明基体齿盘的正面结构示意图；

图3是本发明基体齿盘的反面结构示意图；

图4是本发明调径环的结构示意图；

图5是本发明调径孔的结构示意图；

图6是本发明定位盘的结构示意图；

图7是本发明使用示意图；

图8是本发明实施例2的结构示意图。

具体实施方式