[发明专利]一种提高大量程伺服油缸位移控制精度的装置及方法

权利要求书

1.一种提高大量程伺服油缸位移控制精度的装置，其特征在于，包括：

实现大量程位移的液压伺服油缸、用于控制液压伺服油缸的伺服控制系统、作为执行元件的伺服作动器以及伺服油缸的位移传感器；

所述位移传感器设置于所述液压伺服油缸内，与所述伺服控制系统连接，所述液压伺服油缸与所述伺服作动器连接。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括接口，所述接口设置于所述伺服控制系统上；

优选地，所述接口为SSI接口及光电编码器。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述位移传感器实现非接触形式测量，嵌套在所述液压伺服油缸内。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述位移传感器的分辨率为0.001mm以下。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述位移传感器的温度系数控制在15ppm/K以下。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述位移传感器的测量量程控制在4000mm以上；

优选地，所述位移传感器的工作速度控制在2500次/s以上。

7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述位移传感器不需分段标定，所述伺服控制系统位移输入部分具备分段标定的功能。

8.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述伺服控制系统的位移控制精度控制在0.2％Fs以下；

优选地，样品端部加载位移分辨率控制在1μm以下。

9.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述伺服控制系统的位移加载控制速率为0～1.0mm/s。

10.采用权利要求1-9任一项所述的装置来提高大量程伺服油缸位移控制精度的方法，其特征在于，包括如下步骤：

(A)输出所述伺服控制系统的位移变量至所述液压伺服油缸；

(B)所述液压伺服油缸驱动所述伺服作动器完成动作；

(C)所述位移传感器将实际位移输出传送到所述接口；

(D)通过所述接口将数据反馈至所述伺服控制系统，即可。