[发明专利]基于电化学的微构件可靠无损操作在审
| 申请号： | 201711011527.4 | 申请日： | 2017-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN108108509A | 公开（公告）日： | 2018-06-01 |
| 发明（设计）人： | 李东洁;王倩倩;彭怀宇 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨理工大学 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50;G06F19/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150080 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微构件 拾取 微电极 无损 释放 电化学 沉积 电解 电化学沉积 电化学理论 操作过程 关键技术 理论模型 实验操作 受力模型 无损条件 析出 操作点 微操作 制备 分析 微观 验证 修正 研究 制造 | ||
【权利要求书】：
1.基于电化学的微构件可靠无损操作，其特征在于，首次提出将微构件作为微操作对象，使微纳制造技术突破了传统的光刻、电子束光刻和纳米压印只能进行二维结构制造的局限，使不同材料的复杂微系统的制造成为可能。
2.基于电化学的微构件可靠无损操作，其特征在于，首次提出利用电化学的方法对微构件进行稳定拾取和无损可靠释放，尤其是金属离子沉积的拾取方法形成牢固的结合，有效的克服了拾取过程中的粘着力；在释放过程中将需要克服的操作工具和操作对象间的粘着力巧妙的转化为液体的表面张力，使操作的成功率大幅提升，这是本发明的又一大创新。
3.基于电化学的微构件可靠无损操作，其特征在于，通过获取沉积及释放过程中的电流密度与所加电压、微电极尺寸等参数间的关系，从而确定某一尺寸操作对象的最佳沉积与电解时间，在保证无损、无污染操作的同时使操作的效率最高。
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