[发明专利]一种双等离子体离子源放电电源

权利要求书

1.一种双等离子体离子源放电电源，其特征在于，该电源包括：

移相PWM控制电路，为电源的控制端，通过接收到输出电压与输出电流的反馈信号，通过移相的方式调节输出信号波形的占空比；

整流滤波电路，将220V，50HZ交流电转换成300V直流电；

全桥逆变电路，将所述整流滤波电路输出的300V直流电，根据所述移相PWM控制电路的输出信号转换成300V交流电；

升压变压器，将全桥逆变电路输出的300V交流电升高到5000V左右交流电；

高频整流滤波电路，将升压变压器输出5000V左右高频交流电经过整流滤波输出为直流电；

电压释放电路，连接在高频整流滤波的输出端，断电后将存留在电源高频整流滤波电路电容内高压快速释放掉；

电压采样电路，电源输出电压经过分压电路得到的电压值，反馈至移相PWM控制电路；

电流采样电路，电源输出电流经过采样电阻之后得到电压值，反馈至移相PWM控制电路。

2.按照权利要求1所述的电源，其特征在于，在所述移相PWM控制电路与所述全桥逆变电路之间设置耦合隔离电路，通过耦合隔离电路的耦合变压器将移相PWM控制电路的输出信号传输至全桥逆变电路。

3.按照权利要求1所述的电源，其特征在于，所述全桥逆变电路的输出端设置有过流监测电路，所述过流监测电路将检测的电流的情况，传输给移相PWM控制电路，当电路发生短路或者过流时，移相PWM控制电路瞬间停止电源工作。

4.按照权利要求1所述的电源，其特征在于，所述电流采样电路将得到的得到电压值传输给一恒流控制电路，所述恒流控制电路通过运算放大器，将电流采样电路的电压值与可调的基准电压值比较，结果反馈给移相PWM控制电路。

5.按照权利要求4所述的电源，其特征在于，所述电压采样电路得到采集电压值传输给一恒压控制电路，所述恒压控制电路通过运算放大器，将电压采样电路的电压值与可调的基准电压值比较，结果反馈给移相PWM控制电路。

6.按照权利要求5所述的电源，其特征在于，包括恒压恒流钳位电路设置在恒压控制电路与恒流控制电路电源的输出端与移相PWM控制电路之间，通过反相二极管钳制恒流控制电路以及恒压控制电路的输出。

7.按照权利要求1所述的电源，其特征在于，所述电压释放电路并联到电路的输出端，电源正常工作时，光电耦合器处于导通状态，场效应管处于截止状态，电压释放电路不工作；当电源断电后，光电耦合器处于截止状态，场效应管处于导通状态，能够快速释放掉滤波电容内的电压。

8.按照权利要求1所述的电源，其特征在于，所述电压采样电路与电流采样电路的采集的电压与电流信号经16位AD卡将模拟信号转换为数字信号，依次经过一组光纤转换器A与光纤转换器B将电信号转换成光信号再转换成电信号给PC机。

9.按照权利要求1所述的电源，其特征在于，在电源输出端加上一个放电管作为防护高压电路，放电管的工作电压在5000V，电源输出电压低于5000V时，放电管不导通，输出电压高于5000V，放电管导通，构成回路，保护前级电路不受损坏。