[发明专利]一种金属离子液体缓蚀剂及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201711011736.9 申请日: 2017-10-25
公开(公告)号: CN107603588A 公开(公告)日: 2018-01-19
发明(设计)人: 谢土根 申请(专利权)人: 浙江星丰科技有限公司
主分类号: C09K8/74 分类号: C09K8/74;C07D233/58
代理公司: 杭州杭诚专利事务所有限公司33109 代理人: 尉伟敏
地址: 313200 浙江省湖*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 金属 离子 液体 缓蚀剂 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种金属离子液体缓蚀剂,其特征在于:是具有以下结构的化合物:

2.如权利要求1所述的金属离子液体缓蚀剂,其特征在于,所述结构中M为Cu2+,Mn2+,Fe2+,Zn2+,Ni2+和Co2+中的一种。

3.如权利要求1所述的金属离子液体缓蚀剂,其特征在于,所述结构中R1为C1-C8的脂肪烃。

4.如权利要求1所述的金属离子液体缓蚀剂,其特征在于,所述结构中R2为C4-C16的脂肪烃。

5.如权利要求1或2或3或4所述的金属离子液体缓蚀剂,其特征在于,所述化合物的熔点为20-60℃。

6.如权利要求1所述的金属离子液体缓蚀剂的制备方法,其特征在于,该制备方法包括以下步骤:

1)将六氟乙酰丙酮与氨水在有机溶剂中混合,发生中和反应;

2)反应结束后加入二价金属氯化物、溴化物、硫酸盐或硝酸盐中的一种进行配位反应;

3)加入含下列通式中阳离子的氯化盐、溴化盐、硫酸盐、硝酸盐中的一种,通过过滤,去除溶剂得到粗产品;

4)将得到的粗产品溶于有机溶剂,然后加入等体积的水,振荡3-10分钟,静止分层,分液去掉水层,重复以上步骤3-5次,收集富离子液体相;

5)蒸发去除有机溶剂,所得产品真空干燥20-24h即得到金属离子液体缓蚀剂。

7.如权利要求6所述的金属离子液体缓蚀剂的制备方法,其特征在于,所述步骤1)中的六氟乙酰丙酮与氨水的摩尔比为1∶1.5-2。

8.如权利要求6所述的金属离子液体缓蚀剂的制备方法,其特征在于,所述步骤1)中的中和反应温度为20-40℃。

9.如权利要求6所述的金属离子液体缓蚀剂的制备方法,其特征在于,所述步骤2)中的配位反应温度为60-80℃。

10.如权利要求6所述的金属离子液体缓蚀剂的制备方法,其特征在于,所述步骤1)或2)中的反应时间为8-36h。

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