[发明专利]一种锆钛酸钡钙BCZT压电陶瓷及其织构化制备方法有效
申请号: | 201711013467.X | 申请日: | 2017-10-26 |
公开(公告)号: | CN107602114B | 公开(公告)日: | 2022-05-20 |
发明(设计)人: | 刘其斌;薛安;曾芳芳;蔡恩培 | 申请(专利权)人: | 贵州大学;贵州振华红云电子有限公司 |
主分类号: | C04B35/468 | 分类号: | C04B35/468;C04B35/622;H01L41/187 |
代理公司: | 北京联创佳为专利事务所(普通合伙) 11362 | 代理人: | 张梅 |
地址: | 550025 贵州省*** | 国省代码: | 贵州;52 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 钛酸钡 bczt 压电 陶瓷 及其 织构化 制备 方法 | ||
1.一种锆钛酸钡钙BCZT压电陶瓷的织构化制备方法,其特征在于:所述锆钛酸钡钙BCZT压电陶瓷是以BaCO3和TiO2为主要原料,以CaCO3和ZrO2为掺 杂剂,以SrTiO3为晶种制成,其中,BaCO3、TiO2、CaCO3和ZrO2的摩尔比为(Ba0.85Ca0.15)(Zr0.1Ti0.9)O3,SrTiO3的质量百分比含量为5%;
所述的锆钛酸钡钙BCZT压电陶瓷的织构化制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
1)将BaCO3、TiO2、CaCO3、ZrO2和SrTiO3分别烘干,得A品;
2)将A品混合并搅拌均匀,得B品;
3)将B品制成流延浆料,在流延机上流延挤出,制成80-120μm厚的流延料;
4)将3-10层流延料利用等静 压机在20-30MPa压力下制成0.8-1.2mm厚度,裁剪成圆片,得C品;
5)将C品放入1250-1350℃下,保温2-4小时,随炉自然冷却,得D品;
6)将D品进行被电极和极化处理,得BCZT压电陶瓷。
2.如权利要求1所述的锆钛酸钡钙BCZT压电陶瓷的织构化制备方法,其特征在于:所述流延料的厚度为100μm。
3.如权利要求1所述的锆钛酸钡钙BCZT压电陶瓷的织构化制备方法,其特征在于:所述步骤4)中,是将多层流延料利用等静 压机在20-30MPa压力下制成1mm厚度。
4.如权利要求1所述的锆钛酸钡钙BCZT压电陶瓷的织构化制备方法,其特征在于:所述步骤5)中,保温时间为3小时。
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