[发明专利]一种固体所含杂质浓度的测量系统及测量方法

权利要求书

1.一种固体所含杂质浓度的测量系统，其特征在于，包括：自旋电子磁性传感器、磁场产生装置和控制器，其中，

所述磁场产生装置位于所述自旋电子磁性传感器的侧面，并与所述自旋电子磁性传感器相距预设距离，所述自旋电子磁性传感器探测所述磁场产生装置产生的磁场的初始磁场强度；

所述待测量固体设置在所述自旋电子磁性传感器的与所述磁场产生装置平行的侧面上，所述自旋电子磁性传感器探测当前磁场强度，所述待测量固体本身不能产生磁场；

所述控制器根据预设的磁场强度与固体中杂质浓度的对应关系，以及所述初始磁场强度和所述当前磁场强度，确定所述待测量固体中杂质的浓度值。

2.根据权利要求1所述的测量系统，其特征在于，所述控制器根据所述初始磁场强度和所述当前磁场强度，确定被抵消的磁场强度，并将所述被抵消的磁场强度与所述对应关系进行匹配，以确定所述待测量固体中杂质的浓度值。

3.根据权利要求1的测量系统，其特征在于，所述系统还包括：屏蔽罩，所述自旋电子磁性传感器、所述磁场产生装置和所述待测量固体均位于所述屏蔽罩内。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的测量系统，其特征在于，所述自旋电子磁性传感器包括：基底、设置在所述基底表面的至少一个自旋电子器件和电极，所述电极与所述控制器连接。

5.根据权利要求4所述的测量系统，其特征在于，所述磁场产生装置位于所述自旋电子磁性传感器的，与所述待测量固体平行的侧面。

6.根据权利要求5所述的测量系统，其特征在于，所述磁场产生装置为线圈，则所述线圈沿所述自旋电子磁性传感器的固定层磁矩方向绕行，使得所述线圈产生的磁场的磁场方向与所述自旋电子磁性传感器的自由层方向垂直。

7.根据权利要求4所述的测量系统，其特征在于，每个所述自旋电子器件为巨磁阻磁性传感器或磁性隧道结器件。

8.一种固体所含杂质浓度的测量方法，其特征在于，包括：

在自旋电子磁性传感器侧面设置磁场产生装置，所述自旋电子磁性传感器探测所述磁场产生装置产生的磁场的初始磁场强度；

将待测量固体设置在自旋电子磁性传感器的与所述磁场产生装置平行的侧面上，所述自旋电子磁性传感器探测当前磁场强度，所述待测量固体本身不能产生磁场；

控制器根据预设的磁场强度与固体中杂质浓度的对应关系，以及所述磁场强度探测器探测的所述初始磁场强度和所述当前磁场强度，确定所述待测量固体中杂质的浓度值。

9.根据权利要求8所述的测量方法，其特征在于，所述控制器根据预设的磁场强度与固体中杂质浓度的对应关系，以及所述磁场强度探测器探测的所述初始磁场强度和所述当前磁场强度，确定所述待测量固体中杂质的浓度值，包括：

所述控制器根据所述初始磁场强度和所述当前磁场强度，确定被抵消的磁场强度；

所述控制器将所述被抵消的磁场强度与所述对应关系进行匹配；

所述控制器根据匹配结果，确定所述待测量固体中杂质的浓度值。