[发明专利]一种叉指电极及其制备方法在审
| 申请号： | 201711017881.8 | 申请日： | 2017-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN107658141A | 公开（公告）日： | 2018-02-02 |
| 发明（设计）人： | 杨晓艳 | 申请（专利权）人： | 杨晓艳 |
| 主分类号： | H01G11/26 | 分类号： | H01G11/26;H01G11/86 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司11659 | 代理人： | 徐鹏飞 |
| 地址： | 214000 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 电极 及其 制备 方法 | ||
1.一种叉指电极，其特征在于，包括：
第一电极，所述第一电极包括至少一个第一侧面；
所述第一电极的至少一个第一侧面上设置至少一个垂直于所述第一侧面的第一子电极；
第二电极，所述第二电极包括至少一个第二侧面；
所述第二电极的至少一个第二侧面上设置至少一个垂直于所述第二侧面的第二子电极；
所述第一侧面与所述第二侧面平行且位于同一直线上；
所述第一子电极与所述第二子电极同时位于第一平面上。
2.根据权利要求1所述的叉指电极，其特征在于，所述第一电极与所述第一子电极一体连接；
所述第二电极与所述第二子电极一体连接。
3.根据权利要求1所述的叉指电极，其特征在于，所述第一子电极的个数为3～10个；
所述第二子电极的个数为3～10个。
4.根据权利要求1所述的叉指电极，其特征在于，所述第一子电极和所述第二子电极在所述第一平面上交替排列。
5.根据权利要求1所述的叉指电极，其特征在于，所述第一电极的形状为长方体；所述第二电极的形状为长方体；
所述第一子电极的形状为长方体；所述第二子电极的形状为长方体。
6.根据权利要求5所述的叉指电极，其特征在于，所述第一子电极垂直于所述第一电极的第一边的边长大于所述第一子电极平行于第一电极的第二边的边长；
所述第二子电极垂直于所述第二电极的第三边的边长大于所述第二子电极平行于第二电极的第四边的边长。
7.一种叉指电极制备方法，其特征在于，包括：
绘制叉指图形掩膜版；
在硅基底上旋涂光刻胶；
将所述掩膜版放置于所述光刻胶表面进行曝光处理；
将所述曝光后的硅基底放入显影液中进行显影；
在所述显影后的基底上沉积金属薄膜；
所述叉指图形为权利要求1-6任一项叉指电极在第一平面上的投影。
8.根据权利要求7所述的叉指电极制备方法，其特征在于，所述光刻胶为负性光刻胶。
9.根据权利要求8所述的叉指电极制备方法，其特征在于，所述显影液与所述光刻胶相匹配。
10.根据权利要求7所述的叉指电极制备方法，其特征在于，所述金属为钛、铜、镍、金、铂中的任意一种。
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