[发明专利]力检测传感器、力传感器、扭矩传感器及机器人有效
| 申请号： | 201711019828.1 | 申请日： | 2017-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN108106757B | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 神谷俊幸 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01L1/16 | 分类号： | G01L1/16;G01L3/00;G01L5/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 张永明;玉昌峰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 检测 传感器 扭矩 机器人 | ||
1.一种力检测传感器，其特征在于，具备：
基体，由压电体构成，具备从外部接受力的第一面、法线方向与所述第一面的法线方向不同的第二面、及法线方向与所述第一面及所述第二面的法线方向不同的第三面；以及
梳齿电极，配置在所述第二面上和所述第三面上，
所述第一面的法线方向为第一方向，所述第二面的法线方向为第二方向，所述第三面的法线方向为第三方向，所述第一方向、所述第二方向、所述第三方向互相垂直，
所述梳齿电极具备一对具有多个电极指的电极，
其中，在所述第二面的俯视图中，配置在所述第二面上的电极指的排列方向相对于所述第一面的法线方向沿顺时针方向倾斜，
在所述第三面的俯视图中，配置在所述第三面上的电极指的排列方向相对于所述第一面的法线方向沿逆时针方向倾斜，
通过判断配置在所述第二面、所述第三面上的所述梳齿电极所激发的弹性表面波的频率的变化方向的组合，来确定所受的力是所述第一方向、所述第二方向、所述第三方向上的力中的哪一个。
2.根据权利要求1所述的力检测传感器，其中，
配置在所述第二面上的电极指具备：
在所述第二面的俯视图中，排列方向相对于所述第一面的法线朝一侧倾斜的第一电极指；以及排列方向相对于所述第一面的法线朝另一侧倾斜的第二电极指。
3.根据权利要求1所述的力检测传感器，其中，
所述压电体的构成材料是水晶。
4.根据权利要求3所述的力检测传感器，其中，
所述第一面与所述水晶的电轴相交。
5.根据权利要求1所述的力检测传感器，其中，
所述基体具备第一基体和连接到所述第一基体的第二基体，
所述第一基体具有所述第一面，
所述第二基体具有所述第二面。
6.根据权利要求1所述的力检测传感器，其中，
所述基体进行了预压。
7.一种力传感器，其特征在于，具备权利要求1所述的力检测传感器。
8.一种扭矩传感器，其特征在于，具备权利要求1所述的力检测传感器。
9.一种机器人，其特征在于，具备权利要求1所述的力检测传感器。
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