[发明专利]聚醚醚酮光学反射镜的加工方法

权利要求书

1.一种聚醚醚酮光学反射镜的加工方法，包括聚醚醚酮反射镜基底抛光、改性层制备、改性层抛光、真空蒸镀反射膜，其特征在于，步骤如下， 其中聚醚醚酮反射镜基底抛光工艺过程包括：

⑴.前期准备工作，将聚醚醚酮镜坯表面清洗干净并擦干；

⑵.配制研磨液，将研磨粉与蒸馏水按照一定比例配制成研磨液；

⑶.室温下，在抛光设备上进行镜坯表面抛光处理；

⑷.待抛光过程结束后，擦拭镜面表面残留的研磨溶液，准备进行改性层制备工艺过程；

其中改性层制备工艺过程包括以下工作步骤：

⑸.将彻底清洁后的聚醚醚酮镜坯放入真空蒸镀设备；

⑹.抽真空至5×10^-4Pa；

⑺.开启离子源对聚醚醚酮镜坯表面进行轰击清洗，增加表面活性；

⑻.蒸镀改性层材料为硅或镍，厚度为10μm-15μm，蒸镀厚度达到后，在真空室自然冷却至室温，准备进行改性层抛光工艺过程；

其中改性层抛光工艺过程包括以下工作步骤：

⑼. 配制抛光溶液，将抛光粉与蒸馏水按照一定比例配制成抛光溶液；

⑽. 室温与洁净环境下，在抛光设备上对聚醚醚酮镜坯改性层进行表面抛光；

⑾. 抛光过程中结合干涉仪检测表面面形，最终达到面形要求；

其中真空蒸镀反射膜工艺过程包括以下工作步骤：

⑿. 将彻底清洁后的聚醚醚酮镜坯放入真空蒸镀设备；

. 抽真空至5×10^-4Pa；

. 开启离子源对聚醚醚酮镜片表面进行轰击清洗，增加表面活性；

. 蒸镀反射层材料，蒸镀结束后，在真空室自然冷却至室温，加工过程结束。

2.根据权利要求1所述的聚醚醚酮光学反射镜的加工方法，其特征在于，所述步骤的配制研磨溶液的操作是：将不同颗粒大小的研磨粉与蒸馏水按照20g/50ml的比例混合，并用搅拌棒搅拌均匀；其中所用研磨粉为氧化铝，并分为三个等级：第一等级TWA12，颗粒大小为8.5微米；第二等级TWA3，颗粒大小为3.5微米；第三等级TWA0.5，颗粒大小为0.55微米。

3.根据权利要求1所述的聚醚醚酮光学反射镜的加工方法，其特征在于，所述步骤⑼的配制抛光溶液的操作是：将颗粒大小为0.5微米的抛光粉与蒸馏水按照20g/50ml的比例混合，并用搅拌棒搅拌均匀。

4.根据权利要求1-3之一所述的聚醚醚酮光学反射镜的加工方法，其特征在于，所用抛光粉为氧化铈或氧化硅。