[发明专利]Cu2

权利要求书

1.一种Cu₂Se化合物旋转靶材的制备方法，包括：

以无磁金属管件作为基体，对无磁金属管件做预处理，两端按要求加工成连接用螺扣，并对其表面进行喷砂、清洗、烘干；选用平均粒度1～5μm的Cu₂Se粉体，Cu₂Se粉体的纯度为99.9％～99.999％，杂质总含量小于1000ppm，单杂质元素小于500ppm；

利用超音速冷喷涂技术在基体外表面喷涂Cu₂Se粉体，沉积层厚度不超过20mm；冷喷涂进口处气体压强为2～3MPa，气体温度为300～400℃；工作气加热到400～600℃，增压至3～5MPa；喷射距离为30～55mm；在基体外表面喷涂Cu₂Se粉体过程中，在氦气或氮气保护气氛下，送粉装置将Cu₂Se粉体送到超音速冷喷涂技术枪，无磁金属管件保持旋转状态，高速气流将Cu₂Se粉体按扫描方式逐层喷射在基体表面，每层1～5μm，直至Cu₂Se层堆积达到5～20mm，冷却至室温；在喷涂了Cu₂Se堆积层的基体外表面包裹一层防渗漏材料，在冷等静压机中利用冷等静压技术高压处理，压力不超过1000MPa，进一步提高密度；

通过高温烧结获取旋转靶材毛坯，旋转靶材毛坯的相对密度96％～98％；在氩气或氮气的保护炉中，烧结温度500～800℃，加热处理时间5小时，靶材相对密度96％～98％；

对成型的旋转靶材毛坯进行机械加工，加工完毕后再进行清洗、烘干得到旋转靶材，转靶材的产品形状为筒状，Cu₂Se厚度＜20mm，平整度小于0.15mm。

2.如权利要求1所述Cu₂Se化合物旋转靶材的制备方法，其特征在于：无磁金属管件选用无磁不锈钢管、金属铜管、金属钛管、镍铬管或者镍铝管。