[发明专利]光学涂覆方法、设备和产品

权利要求书

1.一种玻璃制品，所述玻璃制品包括真空沉积的光学涂层和在所述光学涂层顶部真空沉积的易清洁涂层，其中：

所述光学涂层包括多个周期，所述周期由具有折射率n大于或等于1.7且小于或等于3.0的高折射率材料H层、以及具有折射率n大于或等于1.3且小于或等于1.6的低折射率材料L层组成，所述高折射率材料H层是各周期的第一层且所述低折射率材料L层是各周期的第二层；

SiO₂封盖层，所述SiO₂封盖层被施涂至所述多个周期顶部，且厚度范围为大于或等于20纳米且小于或等于200纳米；以及

从所述玻璃制品的光学涂层的第一边缘到光学涂层的第二边缘的光学涂层的厚度变化小于4％。

2.如权利要求1所述的玻璃制品，其特征在于，涂层周期的数目范围是大于或等于2且小于或等于1000。

3.如权利要求1所述的玻璃制品，其特征在于，所述光学涂层的厚度范围是大于或等于100纳米且小于或等于2000纳米。

4.如权利要求1所述的玻璃制品，其特征在于，涂层周期的数目范围是大于或等于2且小于或等于20，且各层高折射率材料H和低折射率材料L的厚度范围是大于或等于5纳米至小于或等于200纳米。

5.如权利要求1所述的玻璃制品，其特征在于，所述高折射率材料H层选自下组：ZrO₂,HfO₂,Ta₂O₅,Nb₂O₅,TiO₂,Y₂O₃,Si₃N₄,SrTiO₃和WO₃。

6.如权利要求1所述的玻璃制品，其特征在于，所述低折射率材料L层选自下组：SiO₂,MgF₂,YF₃,YbF₃和Al₂O₃。

7.如权利要求1所述的玻璃制品，其特征在于，在6000次磨损循环之后，所述玻璃制品的水接触角为至少75°。

8.如权利要求1所述的玻璃制品，其特征在于，在8000次磨损循环之后，在所述玻璃制品表面上的刮擦长度小于2毫米。

9.如权利要求1所述的玻璃制品，其特征在于，在至少8000次磨损/擦拭循环之后的所述玻璃制品的％反射率基本上与未磨损/未擦拭的玻璃制品的％反射率相同。

10.如权利要求1所述的玻璃制品，其特征在于，在至少8000次磨损/擦拭循环之后的所述玻璃制品的％透射率基本上与未磨损/未擦拭的玻璃制品的％透射率相同。

11.如权利要求1所述的玻璃制品，其特征在于，从所述玻璃制品的光学涂层的第一边缘到光学涂层的第二边缘的光学涂层的厚度变化小于或等于3％。

12.如权利要求1所述的玻璃制品，其特征在于，从所述玻璃制品的光学涂层的第一边缘到光学涂层的第二边缘的光学涂层的厚度变化小于或等于2％。

13.如权利要求1所述的玻璃制品，其特征在于，从所述玻璃制品的光学涂层的第一边缘到光学涂层的第二边缘的光学涂层的厚度变化小于或等于1％。

14.一种玻璃制品，所述玻璃制品包括：

玻璃衬底；

施加在玻璃衬底顶部上的光学涂层，所述光学涂层包括至少三个周期，所述周期由具有折射率n大于或等于1.7且小于或等于3.0的高折射率材料H层、以及具有折射率n大于或等于1.3且小于或等于1.6的低折射率材料L层组成，所述高折射率材料H层是各周期的第一层且所述低折射率材料L层是各周期的第二层；以及

所述光学涂层包括施加在至少三个周期顶部上的SiO₂封盖层；

施加在SiO₂封盖层顶部上的易清洁涂层；以及

其中，在10000磨损循环之后，由玻璃衬底形成的玻璃制品，包括SiO₂封盖层的光学涂层，以及易清洁涂层展现出大于90°的水接触角；

其中，从所述玻璃制品的光学涂层的第一边缘到光学涂层的第二边缘的光学涂层的厚度变化小于4％。