[发明专利]CuSe化合物旋转靶材的制备方法有效
| 申请号： | 201711027535.8 | 申请日： | 2017-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN107858656B | 公开（公告）日： | 2020-09-01 |
| 发明（设计）人： | 孙良成;鲁飞;刘小鱼;李静雅;李慧;刘树峰;娄树普;温永清 | 申请（专利权）人： | 包头稀土研究院;瑞科稀土冶金及功能材料国家工程研究中心有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C24/04 |
| 代理公司： | 北京康盛知识产权代理有限公司 11331 | 代理人： | 张良 |
| 地址： | 014030 内蒙古自*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | cuse 化合物 旋转 制备 方法 | ||
1.一种CuSe化合物旋转靶材的制备方法，包括：
选用无磁管材为基体；
利用超音速冷喷涂技术将CuSe粉体在预处理后的基体外表面喷涂，沉积层厚度不超过20mm；CuSe粉体的平均粒度1～5μm，纯度在99.9％～99.999％之间，杂质总含量小于1000ppm，单杂质元素小于500ppm；
在氦气或氮气保护气氛下，通过送粉装置将CuSe粉体送到超音速冷喷涂技术枪，高速气流将CuSe粉体按扫描方式逐层喷射在基体表面，每层1～5μm，直至CuSe堆积层的厚度达到5～20mm，冷却至室温，其中，冷喷涂进口处气体压强为2～3MPa，气体温度为100～200℃；工作气加热到200～300℃，增压至3～5MPa；喷射距离为30～55mm；喷涂了CuSe堆积层的基体外表面包裹一层防渗漏材料，在冷等静压机中高压处理，压力不超过1000MPa，在超高压下进一步提高密度；
在气氛保护炉中，保护气体为氩气或氮气，通过高温烧结获取相应组织结构的旋转靶材毛坯，温度100～300℃，加热处理时间5小时，机加工得到旋转靶材，旋转靶材相对密度96％～98％；转靶材产品的形状为筒状，CuSe厚度＜20mm，平整度小于0.15mm。
2.如权利要求1所述CuSe化合物旋转靶材的制备方法，其特征在于：无磁管材选用无磁不锈钢管、金属铜管、金属钛管、镍铬管、镍铝管，两端按要求加工成连接用螺扣，并对基体表面进行喷砂、清洗、烘干的预处理。
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