[发明专利]用于制备晶体管介电层的墨水、墨水膜层及其制备方法和应用

权利要求书

1.一种用于制备晶体管介电层的墨水，其特征在于，该墨水含有丙二醇单甲醚乙酸酯、聚甲基倍半硅氧烷、聚合物添加剂和表面活性剂；

所述聚甲基倍半硅氧烷的重均分子量为8,000-12,000；

所述聚合物添加剂的重均分子量为5,000-100,000，所述聚合物添加剂为聚苯乙烯和/或聚甲基丙烯酸甲酯；

相对于1mL所述丙二醇单甲醚乙酸酯，所述聚甲基倍半硅氧烷的含量为0.05-0.6g，所述聚合物添加剂的含量为4.5-100mg，所述表面活性剂的含量为0.1-1mg。

2.根据权利要求1所述的墨水，其中，所述聚合物添加剂的重均分子量为5,000-50,000。

3.根据权利要求1所述的墨水，其中，所述聚合物添加剂为聚苯乙烯和聚甲基丙烯酸甲酯，所述聚苯乙烯和聚甲基丙烯酸甲酯的重量比为1：(0.02-10)。

4.根据权利要求1所述的墨水，其中，所述表面活性剂为选自聚乙二醇辛基苯基醚、聚乙烯基吡咯烷酮、氟碳表面活性剂FS-64和丙二醇苯醚中的至少一种。

5.根据权利要求4所述的墨水，其中，所述表面活性剂为聚乙二醇辛基苯基醚。

6.根据权利要求1所述的墨水，其中，所述墨水的粘度为2-6mPa·s，表面张力为24-30mN/m。

7.一种制备权利要求1-6中任意一项所述的墨水的方法，其特征在于，该方法包括：使所述丙二醇单甲醚乙酸酯、聚甲基倍半硅氧烷、聚合物添加剂和表面活性剂混合，得到所述墨水。

8.根据权利要求7所述的方法，其中，该方法包括：使所述丙二醇单甲醚乙酸酯、聚甲基倍半硅氧烷、聚合物添加剂和表面活性剂混合后依次进行搅拌、超声和过滤。

9.根据权利要求8所述的方法，其中，所述搅拌的时间为0.1-2h，所述超声的时间为1-10min，超声频率为20-40kHz，所述过滤的精度为0.1-0.5μm。

10.一种制备墨水膜层的方法，其特征在于，该方法包括：使权利要求1-6中任意一项所述的墨水涂覆至基底上，经热处理处理后得到所述墨水膜层；其中，所述涂覆的方法为选自喷墨打印、刮涂和点胶中的至少一种。

11.根据权利要求10所述的方法，其中，所述涂覆的方法为喷墨打印。

12.根据权利要求10所述的方法，其中，所述基底为选自聚酰亚胺、聚对苯二甲酸乙二醇酯和聚萘二甲酸乙二醇酯中的至少一种。

13.根据权利要求10所述的方法，其中，所述热处理的温度为110-150℃，热处理时间为5-30min。

14.由权利要求10-13中任意一项所述的方法制备得到的墨水膜层。

15.权利要求1-6中任意一项所述的墨水或权利要求14所述的墨水膜层在制备晶体管介电层中的应用。