[发明专利]一种柔性显示面板及制作方法

说明书

本发明公开了一种柔性显示面板及制作方法，以降低柔性显示面板非显示区域的刻蚀槽孔出现刻蚀过度的可能性，从而提高刻蚀精度，提高柔性显示面板的良品率。该柔性显示面板，包括柔性基板、缓冲层、栅极绝缘层、层间电介质层、薄膜晶体管、有机电致发光元件和封装层，其中，所述柔性基板包括显示区域和非显示区域，所述柔性基板的显示区域设置有刻蚀阻挡层，所述柔性基板和刻蚀阻挡层上依次设置有缓冲层、栅极绝缘层及层间电介质层，所述非显示区域的缓冲层、栅极绝缘层及层间电介质层对应刻蚀阻挡层区域开有至少一个刻蚀槽孔，所述显示区域的层间电介质层上依次设置有薄膜晶体管、有机电致发光元件和封装层。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，特别是涉及一种柔性显示面板及制作方法。

背景技术

OLED(Organic Light Emission Display，有机电致发光二极管)显示器件相比于LCD器件具有自发光特点，无需背光源，并且具有色彩度好，视角广的特性，展现了比LCD器件更为宽广的应用范围。固态材料发光使器件设计轻薄化，可弯曲，是柔性显示器件发展最有潜力的技术。

柔性OLED器件的制备工艺与传统OLED器件的制备工艺相比，兼容性很大，不同之处为增加了柔性基板工艺，同时改变了封装工艺及封装后段的模组制程。基板阵列工艺和蒸镀工艺与传统OLED技术设备兼容性高，但是工艺略有调整，因为器件需要可弯曲、可折叠，在基板阵列工艺中需要改善工艺以适应弯折的需要。通常为防止切割裂纹的扩展，在显示器件非显示区域边缘处设置凹槽，以对裂纹进行物理阻断，防止裂纹扩展贯穿至显示区。但是这种工艺会出现，凹槽深度过大，柔性基板(例如PI基板)会被刻蚀掉一部分，导致对于边缘基板平整度受影响发生褶皱，继而再次出现裂纹。

现有技术在非显示区域边缘处设计有多个凹槽区域，将柔性显示面板中的缓冲层、栅极绝缘层、层间电介质层进行刻蚀，但是如果刻蚀条件不当，会出现刻蚀过度现象，会将柔性基板刻蚀，从而影响边缘区域的基板平整度和局部应力，反而导致容易产生裂纹。

发明内容

本发明提供了一种柔性显示面板及制作方法，以降低柔性显示面板非显示区域的刻蚀槽孔出现刻蚀过度的可能性，从而提高刻蚀精度，提高柔性显示面板的良品率，并防止刻蚀过度影响柔性显示面板的显示效果和结构强度。

本发明实施例提供的柔性显示面板，包括柔性基板、缓冲层、栅极绝缘层、层间电介质层、薄膜晶体管、有机电致发光元件和封装层，其中，所述柔性基板包括显示区域和非显示区域，所述柔性基板的显示区域设置有刻蚀阻挡层，所述柔性基板和刻蚀阻挡层上依次设置有缓冲层、栅极绝缘层及层间电介质层，所述非显示区域的缓冲层、栅极绝缘层及层间电介质层对应刻蚀阻挡层区域开有至少一个刻蚀槽孔，所述显示区域的层间电介质层上依次设置有薄膜晶体管、有机电致发光元件和封装层。

在本发明实施例公开的柔性显示面板中，在柔性基板非显示区域的待刻蚀处设置刻蚀阻挡层，然后在刻蚀阻挡层上设置缓冲层、栅极绝缘层及层间电介质层，从而降低柔性显示面板非显示区域的刻蚀槽孔出现刻蚀过度的可能性，从而提高刻蚀精度，提高柔性显示面板的良品率，并防止刻蚀过度影响柔性显示面板的显示效果和结构强度。

优选的，所述刻蚀槽孔在柔性基板上的正投影处于刻蚀阻挡层在柔性基板上的正投影内。

优选的，所述非显示区域的缓冲层、栅极绝缘层及层间电介质层对应刻蚀阻挡层区域开有多个刻蚀槽孔，且所述刻蚀阻挡层包括对应所述多个刻蚀槽孔设置的刻蚀阻挡块。

可选的，所述刻蚀阻挡层材质包括二氧化硅、硅的氮化物、硅的氮氧化物、氧化铝、二氧化锆、二氧化钛、聚碳酸酯、环氧树脂、聚甲基丙烯酸甲酯聚酰亚胺。

优选的，所述封装层具体包括有机层、第一无机层和第二无机层，所述有机层设置于第一无机层和第二无机层之间。

优选的，所述柔性基板包括玻璃基板和涂覆于玻璃基板上的柔性材料。