[发明专利]从形成在衬底上的固化图案层分离纳米压印模板的设备和方法

权利要求书

1.一种从形成在衬底上的固化图案层分离纳米压印模板的方法，模板由连接到压印头的模板卡盘或者模板保持架保持，该方法包括以下步骤：

(a)使压印头向上移动，导致模板相对于衬底移动，以产生施加到模板和衬底的张力，张力引发模板和衬底弯曲，并且这种弯曲产生了存储在模板和衬底中的存储能量，其中，模板和衬底的背侧中心具有背侧空心区域；

(b)测量施加到模板和衬底的张力；

(c)判定施加到模板背侧和衬底背侧的压力大小，以便压印头的向上移动距离与接触区域和分离区域之间分界线所限定的接触半径的关系曲线的斜率在接近分离处理结束时或在整个分离处理期间为恒定；

(d)将判定了大小的压力施加到模板背侧和衬底背侧；和

(e)重复步骤(a)至(d)一次或者多次，直到模板完全从固化图案层分离为止。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，步骤(d)通过将压力施加到模板背侧或衬底背侧来抵消存储能量。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，步骤(d)将张力减小至零或者低于零。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，在整个分离期间所施加张力的大小不超过6N。

5.根据权利要求1所述的方法，还包括在模板完全从固化图案层分离之后去除所施加背压的步骤。

6.一种从形成在衬底上的固化图案层分离纳米压印模板的设备，包括：

配置成保持模板的模板卡盘或者模板保持架，模板卡盘或者模板保持架连接到压印头，模板的背侧中心具有背侧空心区域；

配置成保持衬底的衬底卡盘或者衬底保持架，衬底的背侧中心具有背侧空心区域；

致动器系统，配置成调节模板和衬底相对于彼此的位置；

力检测系统，配置成检测在模板从形成在衬底上的固化图案层分离期间施加到模板和衬底的张力的大小，张力引发模板和衬底弯曲，并且这种弯曲产生了存储在模板和衬底中的存储能量，其中，压印头向上移动导致模板相对于衬底移动；

压力系统，配置成将背压施加到模板或衬底或者模板和衬底；和

控制器，其与力检测系统和压力系统通讯，控制器配置成：

根据检测到的施加到模板和衬底的张力大小来判定施加到模板背侧和衬底背侧的压力大小，以便压印头的向上移动距离与接触区域和分离区域之间分界线所限定的接触半径的关系曲线的斜率在接近分离处理结束时或在整个分离处理期间为恒定，并且

向压力系统提供信号，以使得压力系统将判定了大小的背压施加到模板和衬底。

7.根据权利要求6所述的设备，其中，控制器还配置成重复压力判定步骤和信号提供步骤，直到模板完全从固化图案层分离为止。

8.根据权利要求6所述的设备，其中，控制器还配置成判定施加到模板背侧和衬底背侧的压力大小，以抵消所述存储能量。

9.根据权利要求6所述的设备，其中，控制器还配置成判定施加到模板背侧和衬底背侧的压力大小，以将施加的张力减小至零或低于零。

10.一种制造产品的方法，该方法包括：

根据权利要求1的方法从形成在衬底上的固化图案层分离纳米压印模板；和

将固化图案层的图案转移到衬底，以产出产品。

11.根据权利要求10所述的方法，其中，产品是复制模板。