[发明专利]一种具有柔性阵列触点的静电锁定惯性开关

权利要求书

1.一种具有柔性阵列触点的静电锁定惯性开关，其特征在于，包括：移动电极、连体蛇形弹簧、弹簧固定支座、柔性阵列式固定电极、吸合电极、键合层和绝缘衬底，其中：

所述移动电极与偶数组所述连体蛇形弹簧相连，并通过所述弹簧固定支座悬空于所述吸合电极和所述柔性阵列式固定电极的上方；所述吸合电极、所述柔性阵列式固定电极和所述键合层固定于所述绝缘衬底上；所述柔性阵列式固定电极对称分布于所述吸合电极的两侧，且所述吸合电极与所述柔性阵列式固定电极的触点所在平面之间存在间隙；所述弹簧固定支座位于所述键合层上方，并且通过所述键合层固定于所述绝缘衬底上；所述柔性阵列式固定电极为通过电镀金属形成的悬臂梁结构；在所述移动电极与所述吸合电极相对的一面上设有一绝缘二氧化硅面，以便于与所述吸合电极保持恒定的静电力；

当外界加速度沿敏感方向作用于所述开关时，所述移动电极通过偶数组所述连体蛇形弹簧向所述柔性阵列式固定电极运动，所述移动电极与所述柔性阵列式固定电极之间的距离越小、所述移动电极和所述吸合电极之间的静电力越大；当静电力增大至起主要作用时，所述移动电极与所述柔性阵列式固定电极接触，从而实现对外电路的接通，并可由施加的静电力将所述移动电极和所述柔性阵列式固定电极保持锁定状态，持续接通外电路。

2.根据权利要求1所述的一种具有柔性阵列触点的静电锁定惯性开关，其特征在于，所述移动电极为通过多次叠层电镀金属和各向异性腐蚀硅形成。

3.根据权利要求1所述的一种具有柔性阵列触点的静电锁定惯性开关，其特征在于，偶数组所述连体蛇形弹簧均为通过电镀金属形成的多匝结构。

4.根据权利要求1-3任一项所述的一种具有柔性阵列触点的静电锁定惯性开关，其特征在于，所述吸合电极通过电镀金属形成。

5.根据权利要求1-3任一项所述的一种具有柔性阵列触点的静电锁定惯性开关，其特征在于，所述键合层位于所述吸合电极与所述柔性阵列式固定电极的外侧，并且通过多层电镀金属形成。

6.根据权利要求1-3任一项所述的一种具有柔性阵列触点的静电锁定惯性开关，其特征在于，所述弹簧固定支座为通过在硅表面电镀金属形成。

7.根据权利要求1-3任一项所述的一种具有柔性阵列触点的静电锁定惯性开关，其特征在于，所述绝缘衬底为石英或玻璃衬底。