[发明专利]上机切片机切割液缸

说明书

技术领域

本发明属于切片机技术领域，具体涉及一种上机切片机切割液缸。

背景技术

在进行多晶硅硅片切割过程中，需要喷淋切割液，而对于使用后的切割液进行再处理和循环使用存在很大的难题，此外对于切割液回收箱体的结构设计不合理，不能够有效的实现切割液的分离和再利用，此外，由于切割后的硅粉粒径很细，会与水反应从而释放氢气，固需要对箱体内的气体进行及时的稀释和疏通，避免存在安全隐患。

发明内容

本发明的目的是针对上述存在的问题和不足，提供一种结构设计合理，便于回收利用的上机切片机切割液缸。

为达到上述目的，所采取的技术方案是：

一种上机切片机切割液缸，包括：箱体，所述箱体上开设有切割液承接口；抽液头，所述抽液头设置在箱体的中部，所述抽液头与箱体之间设置有支撑架，抽液头连接有抽液泵的进水端，抽液泵的出水端连通至废液再生池；循环抽液管，所述循环抽液管为多根，并周向分布在箱体的侧壁或箱底上，所述循环抽液管与循环水泵的进水端连通，循环水泵的出水端与切割液循环箱连通；和扰动气管，所述扰动气管为多根，并周向分布在箱体的侧壁上，多根所述扰动气管的出气口呈螺旋分布，所述扰动气管连接有气泵；在扰动气管的气流作用下，箱体内的切割液呈螺旋状漩涡流动。

所述箱体底部设置有截面呈锥形的环形凸台，所述环形凸台中部为废液抽取区，环形凸台外侧与箱体侧壁之间为循环液抽取区。

所述抽液头上开设有抽液孔，所述抽液孔的高度不大于环形凸台的高度。

所述抽液头与抽液泵之间的管道上、以及循环抽液管与循环水泵之间的管道上均设置有节流阀。

所述箱体的横截面呈矩形或圆形。

所述箱体内设置有液位检测传感器。

所述箱体底部设置有滚轮，箱体的后端设置有推手。

采用上述技术方案，所取得的有益效果是：

本发明能够有效的实现切割液的进一步的分离、回收和循环再利用，能够保障整个循环系统的持续稳定的进行，提高切割液的使用时间和切割液的作用效果，本申请还能够有效的稀释箱体内的氢气，提高安全性能，并且本申请能够实现对箱体内壁的动态清洗，避免发生污垢沉淀、腐臭等问题的发生，有效的降低了生产成本，具有很好的推广和实用价值。

附图说明

图1为本发明与上机切片机的安装结构示意图。

图2为本发明切割液缸的结构示意图。

图3为切割液缸的箱体的俯视结构示意图。

图中序号：100为箱体、101为切割液承接口、102为环形凸台、103为废液抽取区、104为循环液抽取区、105为滚轮、106为推手、107为液位检测传感器、200为抽液头、201为抽液孔、202为抽液泵、203为支撑架、300为循环抽液管、400为扰动气管、500为节流阀。

具体实施方式

以下结合附图对本发明的具体实施方式做详细说明。

参见图1-图3，本发明一种上机切片机切割液缸，包括箱体100、抽液头200、循环抽液管300和扰动气管400，箱体100上开设有切割液承接口101；抽液头200设置在箱体100的中部，抽液头200与箱体100之间设置有支撑架203，抽液头200连接有抽液泵202的进水端，抽液泵202的出水端连通至废液再生池；循环抽液管300为多根，并周向分布在箱体100的侧壁或箱底上，循环抽液管300与循环水泵的进水端连通，循环水泵的出水端与切割液循环箱连通；扰动气管400为多根，并周向分布在箱体100的侧壁上，多根扰动气管400的出气口呈螺旋分布，扰动气管连接有气泵；在扰动气管400的气流作用下，箱体100内的切割液呈螺旋状漩涡流动。从而能够实现，切割后的硅粉或碎屑在中部聚集，并由抽液头抽取排出，而循环抽液管能够实现切割液的循环利用，从而能够大大增加切割液的更换周期，保障切割质量。

为了进一步的提高切割液的分离和抽取效果，在箱体100底部设置有截面呈锥形的环形凸台102，环形凸台102中部为废液抽取区103，环形凸台102外侧与箱体侧壁之间为循环液抽取区104，抽液头200上开设有抽液孔201，抽液孔201的高度不大于环形凸台102的高度。

为了进一步的控制废液和循环液的抽取量，避免造成浪费，合理分配废液和循环液的利用，在抽液头与抽液泵之间的管道上、以及循环抽液管与循环水泵之间的管道上均设置有节流阀500。