[发明专利]一种气动马达的降温操纵方法

权利要求书

1.一种气动马达的降温操纵方法，其特征在于，硅片降温段具有若干硅片熵变变送器，若干硅片熵变变送器线性链接或端端相连构成若干段变送器组，若干段变送器组具有更高的降温区间；

接着操纵气动马达第一段回转支承降温装置，方式为：

采集第一段回转支承外部环的熵值信息；

对比熵值信息与设定熵值一，如果熵值数据不小于设定熵值一并恒定周期不小于设定周期一，就表示第一段回转支承须降温，就朝硅片降温段给能，让硅片降温段的集聚段达到熵增，让第一段回转支承上的熵经由运动辊发送至集聚段上，接着经由硅片降温段的释放段释放至运动辊里的区域里，经由气动马达的降温装置把熵释放。

2.根据权利要求1所述的气动马达的降温操纵方法，其特征在于，在朝硅片降温段给能之际，让硅片降温段不间断工作设定周期二，其后方式为：

获取第一段回转支承外部环的熵值；

对比熵值信息与设定熵值二，如果熵值信息不大于设定熵值二并保持恒定的周期不小于设定周期三，就表示第一段回转支承位于正常的工作熵值下，不必继续降温，就停止朝硅片降温段给能。