[发明专利]具有推力增程模块的MEMS微推力器阵列芯片有效
| 申请号： | 201711042484.6 | 申请日： | 2017-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN107902109B | 公开（公告）日： | 2020-07-31 |
| 发明（设计）人： | 王守旭;朱健;姜国庆;匡蕾;夏燕 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第五十五研究所 |
| 主分类号： | B64G1/40 | 分类号： | B64G1/40;F02K9/14;F02K9/32 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 陈鹏 |
| 地址： | 210016 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 推力 模块 mems 阵列 芯片 | ||
1.一种具有推力增程模块的MEMS微推力器阵列芯片，其特征在于，包括由下至上依次设置的点火层、药室层和推力增程模块；
所述推力增程模块的上表面设置有外喷孔，推力增程模块的下表面设置有内喷孔，内喷孔和外喷孔之间设置有单晶硅薄膜，作为内外喷孔之间的隔膜；内喷孔内壁生长或者沉积高能纳米含能膜作为推力增程模块的推进剂。
2.根据权利要求1所述的具有推力增程模块的MEMS微推力器阵列芯片，其特征在于，所述高能纳米含能膜为多孔硅纳米含能膜、CuO纳米线/Al含能膜、Mg纳米线/聚四氟乙烯膜或者CuO/Al可反应性多层膜。
3.根据权利要求1或2所述的具有推力增程模块的MEMS微推力器阵列芯片，其特征在于，点火层上的换能元、药室层的药室以及推力增程模块的内喷孔、外喷孔在垂直方向位置对应。
4.根据权利要求3所述的具有推力增程模块的MEMS微推力器阵列芯片，其特征在于，所述点火层、药室层和推力增程模块之间通过键合连接。
5.根据权利要求1或2所述的具有推力增程模块的MEMS微推力器阵列芯片，其特征在于，药室层和推力增程模块之间还设置有喷孔层。
6.根据权利要求5所述的具有推力增程模块的MEMS微推力器阵列芯片，其特征在于，点火层上的换能元、药室层的药室、喷孔层的内喷孔、外喷孔以及推力增程模块的内喷孔、外喷孔在垂直方向位置对应。
7.根据权利要求6所述的具有推力增程模块的MEMS微推力器阵列芯片，其特征在于，所述点火层、药室层、喷孔层和推力增程模块之间通过键合连接。
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