[发明专利]光阻液储存桶及光阻涂布机

权利要求书

1.一种光阻液储存桶，其特征在于：包括桶本体(1)、设置在桶本体内的至少两个隔板(2)，所述隔板与所述桶本体活动连接，桶本体所述隔板(2)将桶本体(1)的内腔划分为至少三个腔室，当其中一块隔板(2)向上移动时，位于该隔板(2)两侧的腔室相互连通；位于桶本体(1)其中最外一侧的腔室上设有光阻供液管(12)、CDA压力管(13)、脱气管(14)，所述光阻供液管(12)的一端伸出桶本体(1)外，另一端延伸至该腔室的靠近底部处，所述光阻供液管(12)、CDA压力管(13)、脱气管(14)均与桶本体(1)的内腔壁之间密封连接；位于桶本体(1)另一最外一侧的腔室上设有与桶本体(1)密封连接的光阻供给管(11)；位于最外两侧的腔室之间的腔室上设有与存储桶(1)密封连接的加减压管(15)，通过对具有加减压管(15)的腔室进行加压或减压，使具有加减压管(15)的腔室中光阻液液面以上的压力与相邻两侧腔室中光阻液液面以上的压力相等，从而驱动相应位置处的隔板(2)上升，实现补液。

2.根据权利要求1所述的光阻液存储桶，其特征在于：所述桶本体(1)内设有两块活动连接的隔板(2)，两块隔板(2)将桶本体(1)的内腔划分为三个腔室，分别为供出室(100)、缓冲室(200)、供入室(300)；所述光阻供液管(12)设于供出室(100)内，CDA压力管(13)以及脱气管(14)设于桶本体(1)位于供出室(100)的位置上，光阻供给管(11)设于桶本体(1)位于供入室(300)的位置上；加减压管(15)设于桶本体(1)上位于缓冲室(200)的位置上。

3.根据权利要求1或2所述的光阻液储存桶，其特征在于：所述桶本体(1)的相对两侧的内腔壁上设有与隔板(2)位置相对应的滑槽(16)，所述隔板(2)的相对两侧插入滑槽(16)中。

4.根据权利要求3所述的光阻液存储桶，其特征在于：所述滑槽(16)与隔板(2)之间设有密封条(3)。

5.根据权利要求1或2所述的光阻液储存桶，其特征在于：所述隔板(2)与桶本体(1)内腔壁接触的两侧之间设于密封条(3)，所述密封条(3)固定于桶本体(1)的内腔壁上。

6.根据权利要求1或2任意一项所述的光阻液储存桶，其特征在于：所述隔板(2)的高度大于桶本体(1)的高度，在存储桶(1)的顶部设有伸出孔(17)，隔板(2)的上端从伸出孔(17)中伸出桶本体(1)外。

7.根据权利要求1或2所述的光阻液储存桶，其特征在于：所述脱气管(14)上设有阀门(4)。

8.根据权利要求7所述的光阻液储存桶，其特征在于：所述阀门(4)为电磁阀。

9.根据权利要求2所述的光阻液储存桶，其特征在于：所述供出室(100)、缓冲室(200)以及供入室(300)中设有液位传感器(5)。

10.一种光阻涂布机，其特征在于：包括如权利要求1-9任意一项所述的光阻液储存桶。