[发明专利]掩膜板及其制作方法、蒸镀方法

权利要求书

1.一种掩膜板，包括掩膜板本体，所述掩膜板本体上设置有掩膜图形，其特征在于，所述掩膜板本体包括相对的第一表面和第二表面，所述第一表面上设置有凹槽，所述凹槽位于所述掩膜图形以外的区域，所述凹槽底部设置有贯穿所述掩膜板本体的第一通孔；

所述掩膜板还包括设置在所述凹槽内的掩膜条，所述掩膜条的厚度小于位于所述凹槽以外的掩膜板本体的厚度，所述掩膜条上设置有与所述凹槽底部的第一通孔一一对应的第二通孔，所述第一通孔朝向所述掩膜条的投影区域完全覆盖所述第二通孔所在区域；

其中，所述掩膜条的宽度小于所述第一通孔的开口尺寸。

2.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述掩膜条的背离所述第一通孔的表面低于或平齐于所述掩膜板本体的第一表面。

3.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述凹槽与所述掩膜条一一对应，且所述凹槽的延伸方向与所述掩膜条的延伸方向相同，所述凹槽底部设置有多个所述第一通孔。

4.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述掩膜板本体的厚度在270μm～330μm之间；所述掩膜条的厚度在30μm～50μm之间；所述第二通孔的开口尺寸在95μm～105μm之间。

5.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述掩膜板还包括安装框架，所述掩膜板本体固定在所述安装框架上。

6.一种掩膜板的制作方法，其特征在于，包括：

提供掩膜板本体，该掩膜板本体包括相对的第一表面和第二表面；

在所述掩膜板本体上形成掩膜图形；

在所述掩膜板本体的第一表面上形成凹槽，所述凹槽位于所述掩膜图形以外的区域；

在凹槽底部形成贯穿所述掩膜板本体的第一通孔；

提供安装框架和与所述凹槽一一对应的掩膜条；

在所述掩膜条上形成与相应凹槽底部的第一通孔一一对应的第二通孔；

将所述掩膜板本体固定在所述安装框架上；

将所述掩膜条固定设置在相应的凹槽中，使得所述掩膜条上的第二通孔的位置与相应凹槽底部的第一通孔的位置一一对应；

其中，所述掩膜条的宽度小于所述第一通孔的开口尺寸。

7.一种蒸镀方法，其特征在于，包括：

利用蒸镀源和权利要求1至5中任意一项所述的掩膜板对多张显示基板中部分数量的显示基板进行预蒸镀；其中，所述显示基板包括与所述掩膜板本体的掩膜区图形一一对应的显示区以及与所述掩膜板本体的第一通孔一一对应的标准蒸镀区；

调节所述掩膜板的位置，直至经过所述第一通孔而蒸镀至所述显示基板的蒸镀材料位于所述标准蒸镀区；

将其余显示基板设置在完成预蒸镀的显示基板的当前位置，保持当前掩膜板的位置，以利用所述掩膜板和所述蒸镀源对其余的显示基板进行主蒸镀。

8.根据权利要求7所述的蒸镀方法，其特征在于，所述掩膜板还包括设置在所述凹槽内的掩膜条，所述掩膜条上设置有与所述凹槽底部的第一通孔一一对应的第二通孔，所述第一通孔朝向所述掩膜条的投影区域完全覆盖所述第二通孔所在区域；

在进行所述预蒸镀和所述主蒸镀时，所述掩膜板本体的第二表面朝向所述蒸镀源。