[发明专利]电子束装置以及具备该电子束装置的X射线产生装置和扫描电子显微镜在审
| 申请号： | 201711044479.9 | 申请日： | 2017-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN109148245A | 公开（公告）日： | 2019-01-04 |
| 发明（设计）人： | 宫冈明宽 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | H01J37/12 | 分类号： | H01J37/12;H01J37/063;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李洋;王培超 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电子束 电子束装置 阴极 阳极 电极 穿过 扫描电子显微镜 电场 光阑部件 聚焦电极 放射 开口 高分辨率 外周部 单孔 遮挡 聚焦 | ||
1.一种电子束装置，其特征在于，具备：
阴极，所述阴极放射电子；
阳极，所述阳极是形成电场以便借助从所述阴极放射出的所述电子来形成电子束的电极，且形成有供所述电子束穿过的第1孔；
形成有开口的光阑部件，所述光阑部件将穿过所述阳极后的所述电子束的一部分遮蔽；以及
最末级的电子透镜，所述最末级的电子透镜是形成电场以便使穿过所述开口后的所述电子束聚焦的电极，由形成有供所述电子束穿过的第2孔的一个单孔电极构成。
2.根据权利要求1所述的电子束装置，其特征在于，
所述光阑部件与所述单孔电极为相同电位。
3.根据权利要求2所述的电子束装置，其特征在于，
具备与赋予电位的配线不同的第1导通部件，所述第1导通部件使所述光阑部件与所述单孔电极在真空中导通。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的电子束装置，其特征在于，
所述阳极与所述光阑部件为相同电位。
5.根据权利要求4所述的电子束装置，其特征在于，
具备与赋予电位的配线不同的第2导通部件，所述第2导通部件使所述阳极与所述光阑部件在真空中导通。
6.根据权利要求1～5中任一项所述的电子束装置，其特征在于，
沿着所述电子束的光轴的方向上的所述光阑部件与所述单孔电极之间的距离比所述第2孔的半径长。
7.根据权利要求1～6中任一项所述的电子束装置，其特征在于，
所述阴极具有能够放射所述电子的平面即放射面，
所述放射面的面积比所述第1孔的开口面积大。
8.根据权利要求1～7中任一项所述的电子束装置，其特征在于，
所述阴极为热电子放射型。
9.一种X射线产生装置，其特征在于，
具备权利要求1～8中任一项所述的电子束装置。
10.一种扫描电子显微镜，其特征在于，
具备权利要求1～8中任一项所述的电子束装置。
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