[发明专利]用于彩膜烘烤机的承载台、彩膜烘烤机

说明书

技术领域

本发明属于机械设备技术领域，具体地讲，涉及一种用于彩膜烘烤机的承载台、彩膜烘烤机。

背景技术

彩膜烘烤机是用于液晶面板的彩膜基板的制程中各生产线经由涂布机涂布光阻后的烘烤制程中的，其主要目的是利用加热的方式将经过涂布后的光阻内残留的溶剂(Solvent)去除，从而增加光阻与基板之间的附着力。

随着液晶面板行业的日趋发展，玻璃基板越来越薄、越来越大且越来越精细，为满足生产需求，对设备的各方面的性能也要求越来越高。

高精细面板产品在生产过程中对CD(线宽)、膜厚、位置精度等特性值要求都非常高。彩膜烘烤机在加热涂布有光阻的玻璃基板时，必须保证玻璃基板所有位置的温度的均一性，避免不同位置温差较大，而现有技术的彩膜烘烤机无法保证玻璃基板所有位置的温度的均一性，从而难以满足高精细面板产品的要求。

发明内容

为了解决上述现有技术存在的问题，本发明的目的在于提供一种能够满足高精细面板产品要求的彩膜烘烤机及其承载台。

根据本发明的一方面，提供了一种用于彩膜烘烤机的承载台，所述承载台包括多个加热区，所述多个加热区按照预定规则进行排列，所述多个加热区彼此独立地被控制加热温度，且每个加热区在被加热到预定温度时的温度差不超过3℃。

进一步地，所述多个加热区包括多个第一加热区、多个第二加热区以及多个第三加热区；所述多个第一加热区和所述多个第二加热区沿同一方向排列，所述多个第三加热区阵列排布在所述多个第一加热区和所述多个第二加热区之间，所述第三加热区的面积小于所述第一加热区的面积和所述第二加热区的面积。

进一步地，所述第一加热区的面积与所述第二加热区的面积相同。

进一步地，当所述加热区被加热到预定温度时，所述加热区保持所述预定温度的时间不少于40秒。

根据本发明的另一方面，还提供了一种彩膜烘烤机，所述彩膜烘烤机包括：上述的承载台以及加热组件，所述加热组件用于对每个加热区进行独立地加热。

进一步地，所述加热组件包括控制器和多个加热器，每个加热器与对应的一个加热区相对，所述控制器用于独立地控制每个加热器，以使每个加热器独立地对其相应的加热区进行加热。

进一步地，所述控制器还用于在所述加热器将其相应的加热区加热到预定温度时控制所述加热器的加热温度的温度差不超过3℃。

进一步地，所述控制器还用于在所述加热器将其相应的加热区加热到预定温度时控制所述加热器的加热温度的保持时间不少于40秒。

进一步地，所述彩膜烘烤机还包括具有容置空间的腔体，所述承载台以及所述加热组件容置于所述容置空间内。

本发明的有益效果：本发明的承载台的各加热区的温度能够被单独控制，从而对玻璃基板的加热会更加均匀，并且由于每个加热区的温差不超过3℃，从而可以满足高精细面板产品的要求。

附图说明

通过结合附图进行的以下描述，本发明的实施例的上述和其它方面、特点和优点将变得更加清楚，附图中：

图1是根据本发明的实施例的彩膜烘烤机的结构示意图；

图2是根据本发明的实施例的承载台的俯视图；

图3是根据本发明的实施例的加热组件的结构示意图。

具体实施方式

以下，将参照附图来详细描述本发明的实施例。然而，可以以许多不同的形式来实施本发明，并且本发明不应该被解释为限制于这里阐述的具体实施例。相反，提供这些实施例是为了解释本发明的原理及其实际应用，从而使本领域的其他技术人员能够理解本发明的各种实施例和适合于特定预期应用的各种修改。

在附图中，为了清楚起见，夸大了层和区域的厚度。相同的标号在说明书和附图中始终用于表示相同或相近的元件。

图1是根据本发明的实施例的彩膜烘烤机的结构示意图。

参照图1，根据本发明的实施例的彩膜烘烤机包括腔体10、承载台20和加热组件30。需要说明的是，根据本发明的实施例的彩膜烘烤机还可以包括其他必要的部件。

腔体10具有中空的结构，其包括至少一容置空间，该容置空间用于容置承载台20、加热部件30以及其他必要的部件。

承载台20和加热组件30容置于该容置空间内。图2是根据本发明的实施例的承载台的俯视图。

一并结合参照图2，承载台20包括多个加热区，这些加热区按照预定规则进行排列，并且每个加热区被独立地加热，从而每个加热区独立地被控制加热温度，并且每个加热区被加热到预定温度时的温度差不超过3℃。