[发明专利]掺氧混合气体放电等离子体氧化处理钙钛矿太阳电池空穴传输层的方法在审
申请号: | 201711045750.0 | 申请日: | 2017-10-31 |
公开(公告)号: | CN107887521A | 公开(公告)日: | 2018-04-06 |
发明(设计)人: | 王东栋;曲浩;张春梅;赵高;牛晨 | 申请(专利权)人: | 北京印刷学院 |
主分类号: | H01L51/50 | 分类号: | H01L51/50;H01L51/56;H01L51/00 |
代理公司: | 北京思海天达知识产权代理有限公司11203 | 代理人: | 张立改 |
地址: | 102600 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 混合气体 放电 等离子体 氧化 处理 钙钛矿 太阳电池 空穴 传输 方法 | ||
1.一种快速氧化钙钛矿太阳电池的方法,其特征在于,利用掺氧混合气体放电低温等离子体处理钙钛矿太阳电池,利用氧等离子体中活性基团与空穴传输层发生反应来实现其空穴传输层的功能化。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,包括下列步骤:
(1)制备薄膜钙钛矿太阳电池;
(2)通入含氧和放电气体的混合气体,利用等离子体发生装置产生稳定、均匀的气体放电等离子体;将钙钛矿电池置于等离子体区域,利用氧等离子体与空穴传输层发生反应来完成空穴传输层的功能化,并控制反应时间。
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述的钙钛矿太阳电池为包括依次组合的阳极、空穴传输层、光活性层、电子传输层和阴极的多层结构。
4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所通入的气体为氧气和氩气的混合气体。
5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,等离子体放电功率为5~200瓦。
6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,钙钛矿太阳电池在等离子体区域处理的时间为0.5~100S。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择