[发明专利]一种轴对称半封闭曲面件内表面镀层均匀增强结合的方法及其应用

权利要求书

1.一种轴对称半封闭曲面件内表面镀层均匀增强结合的方法，其特征在于，包括如下步骤：

(1)将轴对称半封闭曲面工件的开口部朝下设置，并将圆形平面磁控溅射靶设置于轴对称半封闭曲面工件下方，且轴对称半封闭曲面工件与圆形平面磁控溅射靶的轴线相重合，轴对称半封闭曲面工件与圆形平面磁控溅射靶之间保持一定的距离；

(2)在轴对称半封闭曲面工件的开口部设置一个与轴对称半封闭曲面工件内表面相配合的象形辅助阳极，且象形辅助阳极的轴线与圆形平面磁控溅射靶的轴线重合；

(3)使象形辅助阳极与轴对称半封闭曲面工件相对转动，进行物理气相沉积，当镀层达到设定值后，即可；

所述步骤(3)中，进行物理气相沉积包括：辉光放电清洗过程、镀膜过程；在辉光放电清洗过程中，将象形辅助阳极与电源阳极相连；在镀膜过程中，象形辅助阳极接地；当镀层达到设定值后，即可。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤(3)中，象形辅助阳极静止，轴对称半封闭曲面工件沿其轴线转动；

或轴对称半封闭曲面工件静止，象形辅助阳极沿其轴线转动；

或以轴对称半封闭曲面工件的轴线为旋转轴，轴对称半封闭曲面工件与象形辅助阳极沿旋转轴相对转动。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤(1)中，轴对称半封闭曲面工件与圆形平面磁控溅射靶之间形成间隙。

4.根据权利要求1-3任一项所述的方法，其特征在于，所述步骤(2)中，象形辅助阳极包括与轴对称半封闭曲面工件开口部相配合的第一圆环、与轴对称半封闭曲面工件内表面相配合的弧形连接杆、阳极连接杆，所述弧形连接杆为至少两个且弧形连接杆与第一圆环连接为一体构成阳极主体，所述阳极主体与阳极连接杆相连。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，还包括第二圆环，所述弧形连接杆的两端分别与第一圆环、第二圆环相连为一体。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述弧形连接杆为四个且均布于第一圆环与第二圆环之间。

7.根据权利要求1-6任一项所述方法的应用，其特征在于，将其用于轴对称曲面工件内表面带偏压的镀层均匀增强结合的物理气相沉积。

8.根据权利要求7所述的应用，其特征在于，将其用于磁控溅射制备轴对称半封闭曲面件内表面镀层。