[发明专利]22寸热场使用23寸碳碳坩埚在审

专利信息
申请号: 201711046691.9 申请日: 2017-10-31
公开(公告)号: CN107541789A 公开(公告)日: 2018-01-05
发明(设计)人: 施小红 申请(专利权)人: 扬中市惠丰包装有限公司
主分类号: C30B35/00 分类号: C30B35/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 212221 江苏省镇江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 22 寸热场 使用 23 寸碳碳 坩埚
【权利要求书】:

1.22寸热场使用23寸碳碳坩埚,包括碳碳坩埚(1)、坩埚底托(2)和保温板(3),其特征在于,所述碳碳坩埚(1)为高纯碳碳复合材料,碳碳坩埚(1)整体由相同的三瓣组合而成,所述碳碳坩埚(1)底部锥形凸台安装在坩埚底托(2)中心位置槽内,所述坩埚底托(2)材料为高强度等静压细石墨材料,所述坩埚底托(2)底部圆柱凸台安装在保温板(3)中心位置的安装孔(301)内。

2.如权利要求1所述的22寸热场使用23寸碳碳坩埚,其特征在于:所述碳碳坩埚(1)外径为φ604mm,内径为φ584mm,高度为448mm,碳碳坩埚(1)底部中心位置有一圆锥孔(102)。

3.如权利要求1所述的22寸热场使用23寸碳碳坩埚,其特征在于:所述坩埚底托(2)外径为φ490mm,高度为100mm,坩埚底托(2)中心位置加工有一直径为φ310mm圆柱孔,孔深为3mm,孔底面距坩埚底托(2)顶面为46mm。

4.如权利要求3所述的22寸热场使用23寸碳碳坩埚,其特征在于:所述坩埚底托(2)底部中心位置有一高为12mm、直径为φ210mm的圆柱凸台。

5.如权利要求3所述的22寸热场使用23寸碳碳坩埚,其特征在于:所述保温板(3)直径为φ724mm,厚度为25mm,保温板(3)中心位置为一直径为φ270mm的安装孔(301),所述安装孔(301)左右两侧各有一个直径为φ140mm的圆柱孔(302),圆柱孔(302)分布圆圆心在保温板(3)的中心,分布圆直径为φ480mm。

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