[发明专利]端面检查装置及其聚焦图像数据获取方法

权利要求书

1.一种端面检查装置，包括能够将保持的检查对象的端面的像成像于图像获取部的光学系统，并使用获取的图像数据进行所述检查对象的端面的检查，所述端面检查装置的特征在于，具备：

聚焦度变化机构，使所述检查对象的端面与所述光学系统的焦点位置之间的距离变化，及

控制部，在通过所述聚焦度变化机构来使所述检查对象的端面与所述光学系统的焦点位置之间的所述距离变化的期间，以预先设定的时间间隔来获取所述图像获取部输出的一连串的图像数据，并判定所述图像数据的每一个是否对焦，并选择对焦的图像数据作为端面检查用的图像数据。

2.根据权利要求1所述的端面检查装置，其特征在于，

所述检查对象固定并保持于规定的位置，

所述聚焦度变化机构由通过操作者的操作来移动所述光学系统的所述焦点位置的光学系统驱动机构(3)构成。

3.根据权利要求2所述的端面检查装置，其特征在于，

所述控制部通过所述图像数据的一部分来判定是否对焦。

4.根据权利要求3所述的端面检查装置，其中，

所述控制部从所述图像数据检测存在于所述检查对象的端面的形状，在检测到该形状的情况下通过该形状的周边部分来判定是否对焦。

5.根据权利要求2至4中任一项所述的端面检查装置，其中，

所述控制部仅在所述光学系统驱动机构被操作的期间，以预先设定的时间间隔来判定所述图像获取部输出的图像数据的每一个是否对焦。

6.根据权利要求1所述的端面检查装置，其特征在于，

所述聚焦度变化机构由保持部(2)构成，所述保持部(2)在所述光学系统的光轴上使所述检查对象的端面与所述光学系统对置并保持，并且通过弹性部件(22)的弹性力而使所述检查对象的端面以规定的速度沿所述光轴的光轴方向通过所述焦点位置的方式移动。

7.根据权利要求1或6所述的端面检查装置，其中，

所述控制部在所述检查对象的端面向远离所述光学系统的方向进行移动的期间，以预先设定的时间间隔来判定所述图像获取部输出的图像数据的每一个是否对焦，并选择所述对焦的图像数据。

8.根据权利要求1或6所述的端面检查装置，其中，

所述控制部在所述检查对象的端面向靠近所述光学系统的方向进行移动的期间，以预先设定的时间间隔来判定所述图像获取部输出的图像数据的每一个是否对焦，并选择所述对焦的图像数据。

9.根据权利要求1或6所述的端面检查装置，其中，

所述控制部在所述检查对象的端面向靠近所述光学系统的方向进行移动的期间以及向远离所述光学系统的方向进行移动的期间，以预先设定的时间间隔来判定所述图像获取部输出的图像数据的每一个是否对焦，并选择所述对焦的图像数据。

10.一种端面检查装置的聚焦图像数据获取方法，所述端面检查装置具备：

光学系统，能够将保持的检查对象的端面的像成像于图像获取部；聚焦度变化机构，使所述检查对象的端面与所述光学系统的焦点位置之间的距离变化；及控制部，进行利用所述图像获取部获取的图像数据的处理，

所述方法具有如下步骤：

使所述检查对象的端面与所述光学系统的焦点位置之间的距离变化；

在使所述检查对象的端面与所述光学系统的焦点位置之间的所述距离变化的期间，以预先设定的时间间隔来获取所述图像获取部输出的一连串的图像数据；

判定获取的所述一连串的图像数据的每一个是否对焦；及

选择判定为对焦的图像数据作为端面检查用的图像数据。