[发明专利]采用传输装置制造集成电路器件的方法

说明书

本公开提供了采用传输装置制造集成电路器件的方法。在一个实施方式中，一种传输装置包括：轨道，连接到框架；行进部件，包括沿着轨道行进的轮子和用于加载物体的加载部件；以及微粒收集容器，提供在轨道的侧部并配置为收集当轮子沿着轨道行进时由于轮子和轨道之间的摩擦产生的微粒。一种采用该传输装置制造集成电路器件的方法包括：将行进部件移动到物体；用加载部件拾取物体，从而将物体加载在加载部件上；使用行进部件以将该物体移动到腔室；以及采用该物体形成半导体器件。

技术领域

示例实施方式涉及一种传输装置以及用于制造集成电路器件的方法。更具体地，示例实施方式涉及在制造诸如平板显示器的集成电路器件期间用于传输物体诸如掩模的传输装置诸如高架提升传输装置(overhead hoist transfer)。

背景技术

在集成电路器件诸如半导体器件、平板显示器等的制造中，可以执行传输工艺以传输物体诸如制造集成电路器件所需的掩模。

近来，高架提升传输装置(OHT)可以用于集成电路器件的制造中的传输装置。OHT可以在集成电路器件的生产线上设置在洁净室的天花板中。

具体地，用于制造集成电路器件的传输装置可以包括提供在生产线的天花板中的轨道和沿着轨道行进的轮子。

这里，微粒可能在轮子沿着轨道行进时由于轮子和轨道之间的摩擦而产生。

因此，在用于制造集成电路器件的采用传统的传输装置的传输工艺中，工艺可靠性会由于产生的微粒而变差。

发明内容

示例实施方式提供一种传输装置以及制造集成电路器件的方法，其能够收集在沿着轨道行进时产生的微粒。

在一个实施方式中，一种传输装置包括：轨道，连接到框架；行进部件，包括沿着轨道行进的轮子和用于加载物体的加载部件；以及微粒收集容器，提供在轨道的侧部并配置为收集当轮子沿着轨道行进时由于轮子和轨道之间的摩擦产生的微粒。采用该传输装置制造集成电路器件的方法包括：将行进部件移动到物体；用加载部件拾取该物体，从而将该物体加载在加载部件上；使用行进部件以将该物体移动到腔室；以及采用该物体形成半导体器件。

在一个实施方式中，一种传输装置包括：轨道，连接到框架；行进部件，包括沿着轨道行进的轮子和用于加载物体的加载部件；以及微粒收集部件，提供在轨道的侧部，用于收集当轮子沿着轨道行进时由于轮子和轨道之间的摩擦产生的微粒。采用该传输装置制造集成电路器件的方法包括：将行进部件移动到物体；用加载部件拾取该物体，从而将该物体加载在加载部件上；使用行进部件以将物体移动到腔室；将微粒收集在微粒收集部件中；以及采用该物体形成半导体器件。

在一个实施方式中，一种传输装置包括：轨道，连接到框架；运输车辆，包括沿着轨道行进的轮子，运输车辆用于移动物体；以及微粒收集容器，提供在轨道的侧部并配置为收集当轮子沿着轨道行进时由于轮子和轨道之间的摩擦产生的微粒。一种制造集成电路器件的方法包括：朝向物体移动运输车辆；拾取物体；使用运输车辆将物体移动到腔室；将微粒收集在微粒收集容器中；采用该物体在腔室中的晶片上执行工艺；以及从加工的晶片形成集成电路器件。

因此，由于轮子和轨道之间的摩擦产生的微粒可以被稳定且容易地收集，从而改善工艺可靠性和产品的竞争能力。

附图说明

从下面结合附图的详细描述，示例实施方式将被更清楚地理解。图1至图3示出如这里描述的非限制的示例实施方式。

图1是示出根据示例实施方式的用于制造集成电路器件的传输装置的视图。

图2是示出根据示例实施方式的图1中的传输装置的轨道和微粒收集部件的透视图。

图3示出根据示例实施方式的采用传输装置制造集成电路器件的方法。

具体实施方式