[发明专利]一种弹性激光剥蚀样品靶座

权利要求书

1.一种弹性激光剥蚀样品靶座，其特征在于，包括靶座本体，所述靶座本体的制作材料为弹性材料，所述弹性材料为透明的，所述靶座本体一体成型，所述靶座本体通过弹性材料灌注而成，所述靶座本体的表面平整，所述靶座本体上开有数个样品孔位，所述样品孔位的底部开有排气孔，所述样品孔位内放置样品，所述样品孔位的内径能通过挤压而增大，进而使样品孔位内能放置直径偏差在±2mm以内的样品，所述样品放置在样品孔位内时通过排气孔将样品和样品孔位之间多余的空气排出。

2.根据权利要求1所述的弹性激光剥蚀样品靶座，其特征在于，所述靶座本体为长方体，所述靶座本体的外轮廓尺寸101mm×54mm×10mm，数个样品孔位在靶座本体上对称分布，所述靶座本体上还设有数个标准孔位，数个标准孔位在靶座本体上对称分布。

3.根据权利要求2所述的弹性激光剥蚀样品靶座，其特征在于，所述标准孔位的数量为3个，所述标准孔位设在靶座本体的一侧，所述标准孔位内放置标准样品，所述标准样品的直径为14-18mm，厚度为2-7mm。

4.根据权利要求1所述的弹性激光剥蚀样品靶座，其特征在于，所述样品孔位的深度为7mm，所述排气孔的内径为4-6mm，所述排气孔设置在样品孔位的中间。

5.根据权利要求1-4任一项所述的弹性激光剥蚀样品靶座，其特征在于，所述样品孔位为大靶样品孔位，所述大靶样品孔位的中心设有一个排气孔，所述大靶样品孔位内放置大靶样品，大靶样品的直径为24-28mm，厚度为2-7mm。

6.根据权利要求1-4任一项所述的弹性激光剥蚀样品靶座，其特征在于，所述样品孔位为小靶样品孔位，所述小靶样品孔位的中心设有一个排气孔，所述小靶样品孔位内放置小靶样品，小靶样品的直径为14-18mm，厚度为2-7mm。

7.根据权利要求1-4任一项所述的弹性激光剥蚀样品靶座，其特征在于，所述样品孔位为薄片样品孔位，所述薄片样品孔位的中间对称设有三个排气孔，所述薄片样品孔位内放置薄片样品，薄片样品的尺寸范围为27±2mm×46±2mm×1.5±0.5mm。