[发明专利]一种靶材真空扩散焊接系统及方法

权利要求书

1.一种靶材真空扩散焊接系统，其特征在于，包括：靶材、法兰和施力部件；所述靶材的外周面设置有凹槽部，所述法兰的侧边缘设置有翘起部，所述法兰装配于所述靶材上，且所述翘起部与所述凹槽部对应设置，所述施力部件用于向所述翘起部施加应力以使所述翘起部嵌合于所述凹槽部；

还包括：柱体部件，所述柱体部件的端部插入至所述靶材的内部，所述柱体部件的膨胀系数大于所述靶材的膨胀系数，所述柱体部件的外径与所述靶材的内径相同。

2.根据权利要求1所述的靶材真空扩散焊接系统，其特征在于，所述柱体部件包括一体连接的插入段和封装段，所述插入段的外径与所述靶材的内径相同，所述封装段的外径大于所述插入段的外径。

3.根据权利要求2所述的靶材真空扩散焊接系统，其特征在于，所述插入段在所述靶材内部的伸入距离至少能够覆盖至所述法兰的所在位置。

4.根据权利要求1所述的靶材真空扩散焊接系统，其特征在于，所述柱体部件的材质为金属材质。

5.根据权利要求1所述的靶材真空扩散焊接系统，其特征在于，还包括：内撑夹具，所述内撑夹具用于套设于所述靶材的内部，并将所述靶材固定于车床内。

6.根据权利要求1所述的靶材真空扩散焊接系统，其特征在于，所述靶材为一侧敞口的锅型结构。

7.根据权利要求1所述的靶材真空扩散焊接系统，其特征在于，所述凹槽部包括第一凹槽和第二凹槽，所述第一凹槽和第二凹槽间隔设置于所述靶材外周面上。

8.根据权利要求7所述的靶材真空扩散焊接系统，其特征在于，所述翘起部包括第一翘起和第二翘起，所述第一翘起、所述第二翘起分别设置于所述法兰的两侧边缘，所述第一翘起的形状与所述第一凹槽的形状相适配，所述第二翘起的形状与所述第二凹槽的形状相适配。

9.一种靶材真空扩散焊接方法，其特征在于，包括如下步骤：

将法兰装配在靶材上，通过内撑夹具将装配好的靶材固定在车床内；

通过施力部件对法兰的翘起部施加应力使翘起部发生变形，并使翘起部嵌合于靶材的凹槽部内；

向靶材内部插入一个柱体部件，所述柱体部件的膨胀系数大于所述靶材的膨胀系数，所述柱体部件的外径与所述靶材的内径相同；

将插入柱体部件的靶材放入真空热处理炉，真空热处理炉在抽真空之后进行加热。