[发明专利]一种声波辅助的粒状多晶硅流化床生产装置

权利要求书

1.一种声波辅助的粒状多晶硅流化床生产装置，其特征在于所述的生产装置由声波发生器、流化床外壁、锥形圆环面、内套筒、圆环气体均布器、圆环隔断面、锥形圆环气体均布器、出料管、同心套管和加热器构成；所述的流化床外壁由上圆锥封头、圆筒壁和下圆锥封头组成；所述上圆锥封头的侧面设置有晶种进口管和废气排出口；所述圆筒壁通过锥形圆环面与内套筒的上端连接、通过圆环气体均布器与内套筒的中间连接、通过圆环隔断面与内套筒的下端连接；所述锥形圆环面、内套筒、圆筒壁和圆环气体均布器围成了第一气体缓冲腔；所述圆环隔断面、内套筒、圆筒壁和圆环气体均布器围成了第二气体缓冲腔；所述第二气体进口设置在圆筒壁上并与第一气体缓冲腔连通；所述加热器设置在第二气体缓冲腔的内部；所述的锥形圆环气体均布器的外边沿与圆环隔断面的内边沿连接，气体均布器的出料口与出料管的一端连接，所述出料管穿过下圆锥封头；所述圆环隔断面、锥形圆环气体均布器、出料管和下圆锥封头围成了第三气体缓冲腔；所述第一氢气进口设置在下圆锥封头上并与第三气体缓冲腔连通；所述同心套管穿过出料管并深入到生产装置的内部。

2.根据权利要求1所述的生产装置，其特征在于所述的同心套管的中心轴与出料管的中心轴重合，且同心套管的外径小于出料管的内径10~50 mm。

3.根据权利要求1所述的生产装置，其特征在于所述的内套筒上开有直径为1~3 mm的气孔，内套筒的开孔率为5~10%。

4.根据权利要求1所述的生产装置，其特征在于所述的圆环气体均布器上开有直径为0.5~2 mm的气孔，圆环气体均布器的开孔率为10~15%。

5.根据权利要求1所述的生产装置，其特征在于所述的锥形圆环气体均布器上开有直径为2~5 mm的气孔，锥形圆环气体均布器的开孔率为10~18%。

6.根据权利要求3所述的气孔，其特征在于所述的气孔的中心轴与内套筒的中心轴相交形成交角ɑ，ɑ的角度值为10~45度。