[发明专利]耐高温缓蚀剂及其制备方法

权利要求书

1.一种耐高温缓蚀剂，其特征在于，所述缓蚀剂以重量份计，至少包括如下组分：

所述碱性催化剂为碱性氢氧化物；所述溶剂为醇类和苯或其同系物的混合物；

其中，所述咪唑啉类化合物中含有有机硅氧烷基团；

其中，所述咪唑啉类化合物的制备反应步骤包括：在携水剂促进下，无水有机酸和有机多胺搅拌，加热回流，140℃～180℃的条件下反应8～12个小时，然后将体系冷却到100℃，蒸馏除去甲苯得到产物；

其中，所述有机多胺为(氨基乙基氨基)-3-异丁基二甲基甲氧基硅烷、氨基乙基氨基异丁基甲基二甲氧基硅烷、(氨基乙基氨基甲基)苯乙基三甲氧基硅烷、N-氨乙基-3-氨丙基甲基二甲氧基硅烷、二乙烯三胺基丙基三甲氧基硅烷、N-(2-氨乙基)-3-氨丙基三甲氧基硅烷、[2-[[3-(三甲氧基硅烷基)丙基]氨基]乙基]脲中的任意一种或多种的混合。

2.如权利要求1所述的耐高温缓蚀剂，其特征在于，所述有机多胺为二乙烯三胺基丙基三甲氧基硅烷或N-(2-氨乙基)-3-氨丙基三甲氧基硅烷。

3.如权利要求1所述的耐高温缓蚀剂，其特征在于，所述无水有机酸为C2～C18碳链的饱和脂肪酸和C2～C18碳链的不饱和脂肪酸中的任意一种或多种的混合。

4.如权利要求3所述的耐高温缓蚀剂，其特征在于，所述无水有机酸为油酸或癸酸。

5.如权利要求1所述的耐高温缓蚀剂，其特征在于，所述无水有机酸和所述有机多胺的摩尔比为1:0.9～1:2.5。

6.如权利要求5所述的耐高温缓蚀剂，其特征在于，所述无水有机酸和所述有机多胺的摩尔比为1:1.2。

7.如权利要求1所述的耐高温缓蚀剂，其特征在于，所述携水剂与无水有机酸的摩尔比为1:1。

8.如权利要求1所述的耐高温缓蚀剂，其特征在于，所述碱性催化剂是氢氧化钠、氢氧化钾和三氧化二铝中的任意一种或多种。

9.如权利要求1所述的耐高温缓蚀剂，其特征在于，所述溶剂为甲醇、乙醇、丙醇、正丁醇、异丁醇、新戊醇、异丙醇、苯、甲苯、邻二甲苯、间二甲苯、对二甲苯中的任意一种或多种。

10.如权利要求1～9任意一项所述的耐高温缓蚀剂的制备方法，其特征在于，其制备包括如下步骤：将耐高温缓蚀剂各组分按规定的重量份依次加入到三口烧瓶中，机械搅拌30min，得到粘稠、不分层的液体，即耐高温缓蚀剂。