[发明专利]一种N型太阳能电池硼扩散方法

权利要求书

1.一种N型太阳能电池硼扩散方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)将制绒后的N型硅片利用高温硼源扩散得到P+发射极；

2)在氢氟酸溶液中室温下反应40-60S，去除N型硅片表面的硼硅玻璃；

3)将去除硼硅玻璃后的N型硅片用纯水清洗，去除表面残留的氢氟酸溶液；

4)将纯水清洗后的N型硅片放入NaOH溶液中反应2-5mins，使N型硅片的方阻提升8-20ohm/sq；

5)将方阻提升后的N型硅片放入氢氟酸/盐酸混合溶液中清洗1-2mins，去除金属离子及背面氧化层；

6)用纯水清洗并吹干。

2.如权利要求1所述的N型太阳能电池硼扩散方法，其特征在于，所述步骤1)中，硼扩散后的N型硅片的方阻为60-80ohm/sq。

3.如权利要求1或2所述的N型太阳能电池硼扩散方法，其特征在于，所述步骤2)中的氢氟酸溶液的质量百分比浓度为8％-10％。

4.如权利要求1或2所述的N型太阳能电池硼扩散方法，其特征在于，所述步骤4)中的NaOH溶液的质量百分比浓度为4％-6％。

5.如权利要求1或2所述的N型太阳能电池硼扩散方法，其特征在于，所述步骤5)中的氢氟酸/盐酸混合溶液中的氢氟酸的质量百分比浓度为3.5％-7％，盐酸的质量百分比浓度为3％-6％。