[发明专利]一种具有定量滴胶的磁悬浮式涂胶机

说明书

本发明公开了一种具有定量滴胶功能的磁悬浮式涂胶机，包括壳体，安装在壳体顶端的定量滴胶机构，安装在壳体内部的磁悬浮电主轴，安装在磁悬浮电主轴顶端的托盘，以及安装在磁悬浮顶端位于托盘下方的负压吸附机构，基片放置在托盘上，根据负压吸附原理在底部产生负压实现吸附，通过磁悬浮电主轴驱动托盘旋转，定量滴胶机构在基片上方定量滴胶，实现均匀涂覆。

技术领域

本发明涉及涂胶机，具体涉及一种具有定量滴胶功能的磁悬浮式涂胶机，可以实现基片表面定量均匀涂胶。

背景技术

涂胶机又称甩胶机、旋转涂膜机，原理是在高速旋转的基片上，基片多为硅片，滴注各类胶液，利用离心力和表面张力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上，形成一层薄膜，离心匀胶过程是光刻工艺中首要关键的一个步骤。涂胶过程中滴胶剂量的可控性、基片的固定、主轴旋转的平稳性、数据监测的可观性以及转速时间等因素的可调性都是应予考虑的重要因素，决定着最终光刻工艺中图形的清晰度、胶的粘度以及胶膜厚度的均匀性。

在现有的涂胶机中，主轴为传统的机械轴承支承，使得转动过程存在摩擦、噪声大的问题，而且机械轴承结构复杂、寿命短，同时传统主轴需要进行润滑以及良好的密封，也难以保证和控制旋转工作台的水平精度，主轴旋转不平稳，易导致胶膜涂覆的不均匀。

此外，由于涂胶基片极薄，几乎无法采用夹持的方式固定，所以现有涂胶机采用抽气泵产生吸附力从而克服离心力和表面张力使涂胶机工作时涂胶基片始终固定在相应位置。但是抽气泵存在体积大、噪声大的缺点，同时现有涂胶机的滴胶过程采用人工手动，这样会导致滴胶位置误差，也难以控制和记录滴胶量。

发明内容

为克服现有技术的缺陷，本发明提供了一种具有定量滴胶功能的磁悬浮式涂胶机，可以实现稳定均匀的涂覆。

本发明揭示了一种具有定量滴胶功能的磁悬浮式涂胶机，包括壳体，安装在壳体顶端的定量滴胶机构，安装在壳体内部的磁悬浮电主轴，安装在磁悬浮电主轴顶端的托盘，以及安装在磁悬浮顶端位于托盘下方的负压吸附机构，其中：

定量滴胶机构包括胶瓶，胶管，定量泵，调节机构以及喷头，喷头通过胶管穿插在胶瓶内，而定量泵安装在胶管上将胶瓶内的胶液抽取至喷头喷出，胶瓶位于壳体外部，喷头穿过壳体顶壁延伸至壳体内部，且通过安装在壳体内部的调节机构实现上下滴胶位置调节；

所述壳体内部中间位置具有工作台，下方具有下隔板，磁悬浮电主轴卡装在工作台与下隔板之间，且两端分别穿过工作台与下隔板，所述磁悬浮电主轴顶部设置了凹槽，且磁悬浮电主轴中轴线上具有上下贯通的气道连通凹槽；

所述负压吸附机构包括穿插在气道内的支撑杆，固定在支撑杆上端位于凹槽内的电机，安装在电机轴上的风扇组，且风扇组的吸风面朝上，支撑杆底端固定在壳体底面上，所述电机驱动风扇组转动，在凹槽内形成负压；

所述托盘安装在磁悬浮电主轴顶端且位于喷头正下方，其中心具有吸附孔，磁悬浮电主轴驱动托盘旋转，负压吸附机构在凹槽及吸附孔内形成负压，吸住托盘上放置的基片。

作为优选，所述壳体表面铰接有操作门，该操作门上具有透明观察窗和把手。

作为优选，所述壳体表面嵌装有控制面板，具有显示屏，多个操作按钮，控制面板对应的壳体背面安装有控制板，所述电机，磁悬浮电主轴以及定量泵与控制板电连接。

作为优选，所述风扇组为多个扇叶上下排布，且吸风面均朝上。

作为优选，所述磁悬浮电主轴顶部凹槽内还安装有辅助吸附机构，其位于负压吸附机构上方，为一带外框的风扇，通过紧固件固定安装在凹槽内，风扇的吸风面朝向吸附孔。

作为优选，所述胶瓶及胶管外部罩有保温套。