[发明专利]一种基于图像的迟滞模型校正AFM扫描图像迟滞的方法

权利要求书

1.一种基于图像的迟滞模型校正AFM扫描图像迟滞的方法，其特征在于：具体步骤如下：

(1)建立基于图像的迟滞模型，过程如下：

原子力显微镜使用压电陶瓷进行试样三维形貌扫描时，构造如下基于图像的迟滞模型：

校正迟滞后正向扫描图像的横从标：

校正迟滞后反向扫描图像的横从标：

其中p_max为扫描图像横坐标最大值，p₁为试样上任意一点D在反向扫描图像中的横坐标，p₂为试样上同一任意点D在校正迟滞后的图像中的横坐标，p₃为试样上该任意点D在正向扫描图像的横坐标；

(2)使用原子力显微镜获得试样同一目标区域的正向扫描图像和反向扫描图像；

(3)根据步骤(2)获取的正向扫描图像和反向扫描图像进行特征点匹配，获得多组匹配的特征点分别在正向扫描图像和反向扫描图像中的坐标信息；

(4)根据步骤(3)获取的多组匹配的特征点的坐标信息，求解步骤(1)建立的迟滞模型的参数：

其中，n为匹配的特征点的组数，p_max为扫描图像的横坐标最大值；p_1i为第i组匹配的特征点在反向扫描图像中的横坐标，p_3i为第i组匹配的特征点在正向扫描图像中的横坐标，k_i为根据第i组匹配的特征点求得的迟滞模型参数，k为根据n组匹配的特征点求得的迟滞模型参数的平均值；

(5)根据步骤(4)求解的迟滞模型分别对步骤(2)获取的正向扫描图像和反向扫描图像进行坐标变换重构，获得校正迟滞后的图像。