[发明专利]一种石英研磨盘在审
申请号: | 201711074100.9 | 申请日: | 2017-11-05 |
公开(公告)号: | CN107598761A | 公开(公告)日: | 2018-01-19 |
发明(设计)人: | 曹玉圣 | 申请(专利权)人: | 曹玉圣 |
主分类号: | B24B37/26 | 分类号: | B24B37/26 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 214500 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 石英 研磨 | ||
【权利要求书】:
1.一种石英研磨盘,具有上盘体(1)和下盘体(2),其特征在于:所述的上盘体(1)和下盘体(2)上设置有流沙道(3)和固定孔(4),上盘体(1)上设置有注入孔(5)。
2.根据权利要求1所述的一种石英研磨盘,其特征在于:所述的流沙道(3)由若干条弧形流道交错旋转排列而成。
3.根据权利要求1所述的一种石英研磨盘,其特征在于:所述的流沙道(3)的加工深度为10-15mm。
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