[发明专利]陶瓷基板的转运设备

权利要求书

1.陶瓷基板的转运设备，其特征在于：包括用于输送清洗篮治具的第一输送线单元、用于输送溅射治具的第二输送线单元、用于将陶瓷基板从清洗篮治具里取出的取出料四轴机器人以及用于将陶瓷基板排列至溅射治具中的转换放置六轴机器人，第一输送线单元与第二输送线单元呈并排平行布置，取出料四轴机器人和转换放置六轴机器人位于两输送线单元之间，转换放置六轴机器人与取出料四轴机器人相对。

2.根据权利要求1所述的陶瓷基板的转运设备，其特征在于：所述取出料四轴机器人包含四轴机器人单元、基座和机架，四轴机器人单元安装于基座上，基座固定于机架上，四轴机器人单元的前端安装有气动夹爪单元，气动夹爪单元上安装有用于夹取陶瓷基板的夹爪。

3.根据权利要求2所述的陶瓷基板的转运设备，其特征在于：所述夹爪的材质为聚氨酯。

4.根据权利要求1所述的陶瓷基板的转运设备，其特征在于：所述转换放置六轴机器人包含机座以及安装其上的六轴机器人单元，六轴机器人单元的前端安装有吸料组件单元，吸料组件单元的四周布置有吸盘。

5.根据权利要求4所述的陶瓷基板的转运设备，其特征在于：所述吸料组件单元的外圈以内5mm位置沿其周向均匀间隔布置吸盘。