[发明专利]一种超高温的电声脉冲法空间电荷测量装置

权利要求书

1.一种超高温的电声脉冲法空间电荷测量装置，其特征在于包括环氧树脂块、直流金属导电杆、脉冲金属导电杆、上电极、半导电层、下电极、匹配电阻、高压电容、温度传感器、加热单元、压电传感器、声波吸收层、地电极、放大器、屏蔽盒和金属块；所述的环氧树脂块通过法兰与下电极相对固定，所述的直流金属导电杆和脉冲金属导电杆的下端分别通过直流绝缘套管和脉冲绝缘套管封装在环氧树脂块中，所述的上电极置于直流金属导电杆的下端部，并封装在环氧树脂块中；所述的半导电层和待测样品依次由上而下置于上电极的下端部；所述的匹配电阻与脉冲金属导电杆连接；所述的高压电容封装在环氧树脂块中，高压电容连接在直流金属导电杆和脉冲金属导电杆之间；所述的下电极置于待测样品的下部，温度传感器与待测样品相接触；所述的加热单元置于下电极的下部，所述的压电传感器与下电极相连，所述的声波吸收层与压电传感器相连，所述的压电传感器和声波吸收层的外面包裹有绝缘层，所述的地电极包裹在绝缘层外面；所述的屏蔽盒置于加热单元的下部，所述的放大器置于屏蔽盒中，放大器的一端通过硬连接杆与压电传感器实现电气连接，放大器的另一端为脉冲引出线，脉冲引出线伸出屏蔽盒；所述的金属块置于放大器的下部，放大器中设置有冷却介质通道，冷却介质通道的两端分别与屏蔽盒外的冷却介质进入通道和冷却介质排出通道相连。

2.如权利要求1所述的测量装置，其特征在于其中所述的压电传感器为居里温度点大于160℃的聚偏氟乙烯，压电传感器的厚度小于或等于10μm。