[发明专利]一种检测晶圆放置状态的方法及系统

权利要求书

1.一种检测晶圆放置状态的系统，其特征在于，该系统包括：光源发生器、光源接收器、晶圆以及光波接收透射器，其中，

光源发生器与光源接收器位于晶圆壁的两侧；

光源发生器输出的光源照射到晶圆壁上；

光波接收透射器位于晶圆与光源接收器之间，用于接收光源发生器输出的光源中未被晶圆遮挡的光源，对第一波长光源进行透射，过滤其它波长的光源；

光源接收器接收光波接收透射器透射的第一波长光源，获取第一波长光源的光源强度，判断获取的光源强度是否小于预先设置的第一波长光源阈值；

若获取的光源强度小于预先设置的第一波长光源阈值，确定晶圆放置状态为水平放置，若获取的光源强度不小于预先设置的第一波长光源阈值，确定晶圆放置状态为倾斜放置或未放置晶圆。

2.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述光波接收透射器为滤波片，所述滤波片的形状为矩形，矩形的长度小于或等于晶圆直径，矩形的宽度小于或等于晶圆厚度，矩形的宽度方向与晶圆的厚度方向平行。

3.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述系统还包括：

光波输出透射器，位于晶圆与光源发生器之间，用于接收光源发生器输出的光源，对第一波长光源进行透射后照射到晶圆壁上，过滤其它波长的光源。

4.如权利要求3所述的系统，其特征在于，所述光波输出透射器长度与光波接收透射器长度相同，宽度大于或等于光波接收透射器的宽度，小于晶圆厚度。

5.如权利要求1至4任一项所述的系统，其特征在于，所述系统还包括：

放大器，用于对光波接收透射器透射的第一波长光源进行放大处理后输出至光源接收器。

6.如权利要求5所述的系统，其特征在于，所述系统还包括：

滤波器，用于对光波接收透射器透射的第一波长光源，或放大器输出的光源进行滤波处理后输出至光源接收器。

7.如权利要求1至4任一项所述的系统，其特征在于，所述光源发生器输出的光源中心、光源接收器接收光源的中心、晶圆厚度方向的中心以及光波接收透射器透射光源的中心位于同一直线上。

8.如权利要求1至4任一项所述的系统，其特征在于，所述光源发生器为红外光源发生器，光源接收器为红外光源接收器，光波接收透射器为红外光源滤波片，第一波长光源为红外光源。

9.一种检测晶圆放置状态的方法，其特征在于，该方法包括：

控制输出光源照射到晶圆壁上；

在晶圆壁的对侧，驱动接收所述输出光源中未被晶圆遮挡的光源，对第一波长光源进行透射，过滤其它波长的光源；

获取透射的第一波长光源的光源强度，判断获取的光源强度是否小于预先设置的第一波长光源阈值；

若获取的光源强度小于预先设置的第一波长光源阈值，确定晶圆放置状态为水平放置，若获取的光源强度不小于预先设置的第一波长光源阈值，确定晶圆放置状态为倾斜放置或未放置晶圆。

10.如权利要求9所述的方法，其特征在于，所述若获取的光源强度不小于预先设置的第一波长光源阈值，确定晶圆放置状态为倾斜放置或未放置晶圆包括：

判断获取的光源强度是否小于预先设置的第一波长光源上限阈值，若获取的光源强度小于所述第一波长光源上限阈值，确定晶圆放置状态为倾斜放置，否则，确定未放置晶圆。