[发明专利]激光晶化装置及晶化激光束的控制方法

权利要求书

1.一种激光晶化装置，包括：

激光产生部，用于发出激光束；

短轴匀化器，使从所述激光产生部出射的激光束沿着第一方向匀化而出射；

长轴匀化器，使从所述短轴匀化器出射的激光束沿着与所述第一方向垂直的第二方向匀化；

光扩散部，将从所述长轴匀化器出射的激光束沿着第二方向扩散，

所述长轴匀化器包括：

分光部，将从所述短轴匀化器出射的激光束沿着所述第二方向分割成平行的多个子激光束；

叠光镜部，将所述多个子激光束重叠而重叠成与所述多个子激光束平行且具有窄于所述多个子激光束的总光宽度的光宽度的激光束。

2.如权利要求1所述的激光晶化装置，其中，

所述分光部包括连续布置的第一分光透镜及第二分光透镜，

所述第一分光透镜及所述第二分光透镜包括多个圆柱透镜。

3.如权利要求2所述的激光晶化装置，其中，

所述第一分光透镜将入射激光束沿着所述第二方向折射而集束，

所述第二分光透镜将集束的所述激光束折射而出射光宽度比所述入射激光束窄的子激光束。

4.如权利要求3所述的激光晶化装置，其中，

所述第一分光透镜具有将入射的激光束集束的第一焦距，

所述第二分光透镜具有将入射的激光束集束的第二焦距，

所述第二分光透镜与所述第一分光透镜的相隔距离大于所述第一焦距，小于所述第一焦距与所述第二焦距之和。

5.如权利要求3所述的激光晶化装置，其中，

所述分光部出射至少3个平行的子激光束。

6.如权利要求5所述的激光晶化装置，其中，

所述叠光镜部包括沿着所述第二方向而分别布置在与所述子激光束对应的位置的第一镜、第二镜以及第三镜。

7.如权利要求6所述的激光晶化装置，其中，

所述第一镜、所述第二镜及所述第三镜沿着所述第二方向而依次布置，

所述第一镜至第三镜中的至少一个是将从一面入射的光反射并使从背面入射的光穿透的一面反射-背面穿透镜。

8.如权利要求7所述的激光晶化装置，其中，

所述第一镜将入射的第一子激光束反射而使其沿着所述第二镜方向行进，

所述第三镜将入射的第三子激光束反射而使其沿着所述第二镜方向行进，

所述第二镜使入射的第二子激光束穿透，并将被所述第一镜及所述第三镜反射的第一子激光束及第三子激光束反射而使其与穿透的所述第二子激光束重叠。

9.如权利要求2所述的激光晶化装置，其中，

所述光扩散部包括：第一扩束透镜，将入射光折射而扩散。

10.如权利要求9所述的激光晶化装置，其中，

所述光扩散部还包括：第二扩束透镜，将所述第一扩束透镜的出射光折射而调整扩散角。