[发明专利]一种管路保护装置及方法

权利要求书

1.一种管路保护装置，用于在进气系统维护过程中防止管路腐蚀，所述进气系统包括依次连接的气箱、第一进气管路、比例阀、第二进气管路、第三进气管路，其中所述第二进气管路和第三进气管路为可拆卸连接，其特征在于，所述管路保护装置包括：

气源，用于提供注入所述进气系统的气体；

堵块组件，在所述第二进气管路与所述第三进气管路分离时，所述堵块组件封闭所述第二进气管路和所述第三进气管路的管口，并且所述气源经由所述堵块组件与所述第三进气管路连接；

气动阀组件，用于控制所述气源与所述第二进气管路之间的通断，以及在所述第二进气管路与所述第三进气管路分离时，控制所述气源与所述第三进气管路之间的通断。

2.根据权利要求1所述的管路保护装置，其特征在于，所述堵块组件包括第二进气管路堵块和第三进气管路堵块，在所述第二进气管路与所述第三进气管路分离时分别封闭所述第二进气管路和所述第三进气管路的管口，

其中，所述气源经由所述第三进气管路堵块与所述第三进气管路连接。

3.根据权利要求2所述的管路保护装置，其特征在于，所述气动阀组件包括：

第一气动阀，设置在所述气源与所述第二进气管路之间，用于控制所述气源与所述第二进气管路之间的通断；

第二气动阀，设置在所述气源与所述第三进气管路堵块之间，用于在所述第二进气管路与所述第三进气管路分离时，控制所述气源与所述第三进气管路的通断。

4.根据权利要求1所述的管路保护装置，其特征在于，还包括进气调节组件，所述进气调节组件包括调压阀、压力表、限流垫片，所述调压阀用于调节来自气源的气体压力，所述压力表用于对气体压力值进行显示，所述限流垫片用于截流来自气源的气体。

5.根据权利要求1所述的管路保护装置，其特征在于，还包括：

干泵，用于对所述第二进气管路进行抽真空操作；

第三气动阀，用于控制所述干泵的抽真空操作。

6.根据权利要求1所述的管路保护装置，其特征在于，在所述第三进气管路外端包裹有加热器，用于调节所述第三进气管路中气体的温度。

7.一种管路保护方法，利用如权利要求1-6中的任一项所述的管路保护装置在进气系统维护过程中防止管路腐蚀，其特征在于，包括：

在进行开腔操作之前，打开第一气动阀；

在进行开腔操作时，利用所述第二进气管路堵块封闭所述第二进气管路的管口，利用所述第三进气管路堵块封闭所述第三进气管路的管口，同时关闭所述第一气动阀，打开第二气动阀；

在进行合腔操作时，打开所述第一气动阀，关闭所述第二气动阀，拆卸所述第二进气管路堵块和所述第三进气管路堵块，并将所述第二进气管路和所述第三进气管路连接在一起；

在完成合腔操作之后，关闭所述第一气动阀。

8.根据权利要求7所述的管路保护方法，其特征在于，还包括在机台运行时，保持所述第一气动阀和所述第二气动阀处于关闭状态。

9.根据权利要求7所述的管路保护方法，其特征在于，还包括：

在机台运行时以及进行开腔操作之前，保持第三气动阀处于关闭状态；

在进行开腔操作时，打开所述第三气动阀，利用干泵对所述第二进气管路进行抽真空操作；

在进行合腔操作时，关闭所述第三气动阀。

10.根据权利要求7所述的管路保护方法，其特征在于，还包括：

利用调压阀调节来自气源的气体压力，利用压力表对气体压力的值进行显示，并且利用限流垫片截流来自气源的气体。

11.根据权利要求7所述的管路保护方法，其特征在于，还包括：

利用加热器控制调节所述第三进气管路中气体的温度。